[实用新型]一种高纯气体分析系统

说明书

本实用新型涉及气体分析附属装置的技术领域，特别是涉及一种高纯气体分析系统，其结构简单，通过简单的旋转即可对两个过滤器的状态进行切换，操作更加方便；包括外壳，外壳设置有采样头、过滤器一、过滤器二、预处理机构、气体分析仪、控制机构和显示机构，两个过滤器并联设置，采样头固定在外壳并凸出于外壳；采样头连通有环形管，环形管另一端与预处理机构连通，环形管包括用于安装过滤器一的管道一以及用于安装过滤器二的管道二，管道一安装有两个阀门一，两个阀门一分别处于过滤器一的两侧，阀门一的主轴上固定连接有驱动杆一，驱动杆一的另一端上固定连接驱动轴一，管道二安装有两个阀门二，两个阀门二分别处于过滤器二的两侧。

技术领域

本实用新型涉及气体分析附属装置的技术领域，特别是涉及一种高纯气体分析系统。

背景技术

大规模集成电路、化合物半导体器件、光纤等各行各业对气体纯度要求越来越高，气体的纯度严重制约着这些产业的发展。样品残留及空气的侵入、渗漏和污染是影响高纯气体中痕量杂质定量准确性的关键因素。在高纯气体分析中，整个分析过程须处于“完全密闭”状态，从取样到进样，不能有外来大气的渗入。对于杂质含量在10^-9量级时，更有必要对进样系统采用高真空处理，充干净介质进行保护。

现有技术中，高纯气体分析系统包括采样头、预处理机构、气体分析仪、显示机构和控制机构，其中预处理机构内包含过滤器，用于将气体样本进行过滤除尘，并且过滤器多设置两组，并在过滤器的两侧均设置手阀，当过滤器需要更换时，需要各操作四个手阀，然后才可以拆掉过滤器，效率较低，非常不便。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种高纯气体分析系统，其结构简单，通过简单的旋转即可对两个过滤器的状态进行切换，操作更加方便。

本实用新型的一种高纯气体分析系统，包括外壳，外壳设置有采样头、过滤器一、过滤器二、预处理机构、气体分析仪、控制机构和显示机构，两个过滤器并联设置，采样头固定在外壳并凸出于外壳；采样头连通有环形管，环形管另一端与预处理机构连通，环形管包括用于安装过滤器一的管道一以及用于安装过滤器二的管道二，管道一安装有两个阀门一，两个阀门一分别处于过滤器一的两侧，阀门一的主轴上固定连接有驱动杆一，驱动杆一的另一端上固定连接驱动轴一，管道二安装有两个阀门二，两个阀门二分别处于过滤器二的两侧，阀门二的主轴上固定连接有驱动杆二，驱动杆二的另一端上固定连接驱动轴二，外壳内安装有基座，基座上滑动安装有齿条一和齿条二，齿条一两端均固定连接带有长条孔一的动力环一，驱动轴一穿过动力环一，齿条二两端均固定连接带有长条孔二的动力环二，驱动轴二穿过动力环二；

基座上转动安装有支撑轴，支撑轴上转动安装有齿轮，齿条一和齿条二均与齿轮啮合。

进一步地，预处理机构连通气体分析仪，气体分析仪设置有凸出于外壳的出气口，气体分析仪与控制机构连接，控制机构与显示机构连接。

进一步地，所述外壳底部四个角处均设置有支撑座。

进一步地，所述支撑轴上开设有六边形槽。

进一步地，所述过滤器一通过法兰与管道一连通，过滤器二通过法兰与管道二连通。

进一步地，外壳内安装有用于放置过滤器一和过滤器二的放置座。

进一步地，所述环形管通过抱箍固定在外壳内。

进一步地，外壳顶部通过铰链转动安装有端盖，端盖靠近外壳一侧固定连接带有通孔的橡胶座，通孔处卡装有内六角扳手。