[实用新型]一种测量三步顶共面的检具

说明书

本实用新型公开了一种测量三步顶共面的检具，属于共面测量检具技术领域。其使用数显千分表装置，精确量测三步顶刀片高度差，数字化精准管控三步顶共面，同时，检具底部加装水平支架（20）与数显千分表装置连接，使其水平贴紧三步顶治具表面，方便测量三步顶刀片高度。本实用新型有效降低了三步顶不共面导致的Die Crack问题，提升了产品良率。

技术领域

本实用新型涉及一种测量三步顶共面的检具，属于共面测量检具技术领域。

背景技术

三步顶治具包括顶针帽和三把套叠的方形平面刀片，三把刀片呈套环式设置于顶针帽的中央，依次逐步顶起芯片，减少芯片与蓝膜接触面积，依次促使芯片与蓝膜分离，有效降低crack风险。三步顶刀片共面要求标准高度差在20微米以内。传统检测三步顶刀片采用千分表，由操作员依次测试每一测试点的值，算出是否各点测量高度差，若高度差超标，则需要进行校正三步顶刀片。千分表垂直度人为使用误差大，使整个工作繁琐、效率低。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，提供一种测量三步顶共面的检具，解决千分表垂直度问题，提高整个工作的效率。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供了一种测量三步顶共面的检具，其包括数显千分表装置，所述数显千分表装置包括设置于表壳面的显示屏、提手、功能按钮、套筒、测量探针，所述套筒设置在表壳的下端，并与表壳固连，所述提手设置在表壳的顶端，所述功能按钮设置在显示屏的下侧，所述测量探针设置在套筒内，并上下自由活动；

其还包括支架，所述支架的中央开设通孔，所述套筒穿过通孔与支架连接，所述支架的两边向下设置等高的左右支撑脚，所述左右支撑脚的下表面为水平镜面且为同一水平面，

所述左右支撑脚之间形成视窗，所述视窗露出测量探针，所述测量探针的顶端设置测头，所述显示屏显示所述测头的测试数据；

所述数显千分表装置的垂直中心线、支架的垂直中心线与测量探针重合；

所述数显千分表装置还包括数据接口，所述数据接口设置于表壳的侧边，并通过数据线与使用终端连接。

可选地，所述支架的纵截面呈圆柱状、钟状或立方体状。

可选地，所述套筒的外壁设置外螺纹，所述通孔内设置与套筒的外螺纹匹配的内螺纹，所述套筒与支架通过螺纹连接。

可选地，所述套筒与支架焊接固连。

可选地，所述提手内设置为整个检具提供电源的电池。

可选地，所述功能按钮包括开关按钮、数显按钮、置零按钮、模式选择按钮和单位切换按钮。

可选地，所述使用终端包括电脑、手机。

有益效果

本实用新型提出一种测量三步顶共面的检具，使用数显千分表装置，精确量测三步顶刀片高度差，数字化精准管控三步顶共面，便于精准调节，三步顶共面越平越能增加芯片的吸取稳定性，从而有效降低三步顶不共面导致的Die Crack问题，提升产品良率；同时，检具底部加装水平支架，使其水平贴紧三步顶治具表面，方便测量三步顶刀片高度。

附图说明

图1为本实用新型一种测量三步顶共面的检具的结构示意图；

图2为图1的使用示意图；

图中：数显千分表装置10

显示屏12

提手11

开关按钮14

数显按钮15

置零按钮16