[实用新型]一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统

权利要求书

1.一种多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述反应室为石墨板侧壁组成的直棱柱结构，所述反应室的底面为底板，所述反应室内设有垂直并紧挨底板设置的多个石墨隔板，所述石墨隔板将所述反应室分隔成多个小的反应腔室，位于每个所述反应腔室内的底板上均设有喷嘴装置，所述喷嘴装置包括硫化氢蒸汽喷嘴和围绕所述硫化氢蒸汽喷嘴的设置锌蒸汽喷嘴。

2.如权利要求1所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述硫化氢蒸汽喷嘴和锌蒸汽喷嘴均为圆嘴，所述喷嘴的直径为3~10mm。

3.如权利要求2所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，每个所述反应腔室中，所述每个锌蒸汽喷嘴到硫化氢蒸汽喷嘴的距离都相等。

4.如权利要求3所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，每个所述反应腔室中，所述锌蒸汽喷嘴的数量为4~6个。

5.如权利要求4所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述反应腔室中，所述锌蒸汽喷嘴的数量为4个，相邻两个锌蒸汽喷嘴与硫化氢蒸汽喷嘴之间依次呈120°、60°、120°、60°的夹角，其中，与硫化氢蒸汽喷嘴呈120°夹角的两个锌蒸汽喷嘴连线与反应腔室的长边平行。

6.如权利要求4所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述反应腔室中，所述锌蒸汽喷嘴的数量为6个，相邻两个锌蒸汽喷嘴与硫化氢蒸汽喷嘴之间依次呈120°、30°、30°、120°、30°、30°的夹角，其中，与硫化氢蒸汽喷嘴呈120°夹角的两个锌蒸汽喷嘴连线与反应腔室的长边平行。

7.如权利要求1所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述石墨板侧壁装有整流罩模具。

8.如权利要求1所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述反应室为长方体结构。

9.如权利要求1或8所述的多腔室化学气相沉积反应室，其特征在于，所述石墨隔板平行所述侧壁设置。

10.一种化学气相沉积系统，其特征在于，所述沉积系统包括：

权利要求1~9任一项所述的多腔室化学气相沉积反应室，所述反应室顶部开口；

锌池，所述锌池通过锌蒸汽喷嘴与所述每个反应腔室相通；

硫化氢气路，所述硫化氢气路通过硫化氢蒸汽喷嘴与所述每个反应腔室相通；

卸料箱，所述卸料箱底部开口与所述反应室顶部开口相通；

与所述卸料箱顶部开口通过管道依次相连的过滤装置、真空泵、硫化氢吸收装置；

高温真空炉，所述锌池、卸料箱和反应室设置在高温真空炉内。