[实用新型]废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置

权利要求书

1.一种废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)顶部中心位置开设有通孔(2)，所述箱体(1)内侧壁固定连接有电机(3)和两个导轨(4)，所述电机(3)驱动端固定连接有螺纹杆(11)，且螺纹杆(11)贯穿螺纹连接有揭膜装置(5)，两个所述导轨(4)均和揭膜装置(5)贯穿滑动连接，所述箱体(1)顶部固定连接有固定架(8)，所述固定架(8)底壁中心位置固定连接有电动伸缩杆(9)，所述电动伸缩杆(9)伸缩端固定连接有压板(10)，所述固定架(8)底壁固定连接有放置框(6)，所述放置框(6)内设置有电路板(7)。

2.根据权利要求1所述的废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，其特征在于：所述揭膜装置(5)包括滑块(51)，所述滑块(51)和导轨(4)相互贯穿滑动，所述滑块(51)顶壁开设有凹槽(52)和吹气槽(55)，所述凹槽(52)内壁滑动连接有刮板(54)，所述刮板(54)和凹槽(52)底壁之间通过弹簧(53)连接，所述滑块(51)外侧壁固定连接有热风机(56)，所述热风机(56)通过导管和吹气槽(55)连通。

3.根据权利要求1所述的废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，其特征在于：所述放置框(6)包括框体(61)，所述框体(61)顶壁和固定架(8)固定连接，所述框体(61)侧壁开设有第一通槽(62)，所述框体(61)侧壁开设有第二通槽(63)，所述框体(61)内侧壁固定连接有若干支撑块(64)。

4.根据权利要求1所述的废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，其特征在于：所述电机(3)采用伺服电动机，所述螺纹杆(11)远离电机(3)一端设置有限位块。

5.根据权利要求2所述的废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，其特征在于：所述刮板(54)顶部呈尖头设置，所述刮板(54)和通孔(2)呈贯穿设置。

6.根据权利要求3所述的废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，其特征在于：所述电路板(7)的长度小于两个支撑块(64)之间的距离。