[实用新型]COC蓝膜脱模装置有效
申请号: | 202122190488.7 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN215988670U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 代克明;卢胜泉;王友辉;陈小玉 | 申请(专利权)人: | 深圳九州光电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 深圳市凯达知识产权事务所 44256 | 代理人: | 刘大弯 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明区玉塘街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | coc 脱模 装置 | ||
本实用新型公开了COC蓝膜脱模装置,包括XY轴模组固定座、蓝膜底板、顶针座和XY调节滑台底座,所述X轴模组固定座顶部设有X轴导轨模组,所述X轴导轨模组顶部设有Y轴模组固定座,所述Y轴模组固定座顶部设有Y轴导轨模组,所述Y轴导轨模组顶部设有蓝膜底板,本实用新型通过XY手动调节滑台可以调整顶针座X轴以及Y轴方向的位置,通过顶针座电机,带动偏心轮旋转,使得电机转轴有一个上下的偏心行程,通过上下的偏心行程控制顶针座上下微动,通过原点感应片与原点感应器的配合控制顶针座电机的转动角度,从而控制顶针座上下微动的行程,顶针座顶起来让蓝膜轻微往上张开最终让芯片坐落于实心的顶针座下面,为方便吸嘴吸取芯片。
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为COC蓝膜脱模装置。
背景技术
共晶贴片机是一种广泛应用于光电子学,无线和医学行业的自动化设备,它是设计规划用于定位精度的精密元件组装设备,能够有效降低元件组装的人工成本。在COC共晶结束以后需要对带芯片蓝膜盘进行脱模。
但是,现有的COC蓝膜脱模装置在使用过程中存在一些弊端,比如:
现有的COC蓝膜脱模装置在使用过程中,顶针位置难以调节,在进行脱模时,容易出现定位不准,造成脱模失败,芯片无法吸取转移,影响生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供COC蓝膜脱模装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:COC蓝膜脱模装置,包括XY轴模组固定座、蓝膜底板、顶针座和XY调节滑台底座,所述XY轴模组固定座顶部设有X轴模组固定座,所述X轴模组固定座顶部设有X轴导轨模组,所述X轴导轨模组顶部设有Y轴模组固定座,所述Y轴模组固定座顶部设有Y轴导轨模组,所述Y轴导轨模组顶部设有蓝膜底板,所述蓝膜底板内部设有带芯片蓝膜盘,所述XY调节滑台底座顶部设有XY手动调节滑台,所述XY手动调节滑台顶部设有滑台安装板,所述滑台安装板顶部设有顶针固定座,所述顶针固定座顶部设有顶针座,所述顶针固定座一侧设有顶针座电机,所述顶针座电机输出轴外壁位于顶针座下方设有偏心轮。
进一步的,所述X轴导轨模组一端设有X轴电机,所述X轴导轨模组两端设有X轴上下限位感应器,用于X轴导轨模组的两端限位,所述X轴导轨模组靠近X轴电机一端设有X轴原点感应器,用于X轴导轨模组的原点回位。
进一步的,所述Y轴导轨模组一端设有Y轴电机,所述Y轴导轨模组两端设有Y轴上下限位感应器,用于Y轴导轨模组的两端限位,所述Y轴导轨模组靠近Y轴电机一端设有Y轴原点感应器,用于Y轴导轨模组的原点回位。
进一步的,所述蓝膜底板一侧内部设有膜盘固定座,所述蓝膜底板与膜盘固定座之间设有带弹簧销钉,用于将带芯片蓝膜盘安装在膜盘固定座上。
进一步的,所述顶针座电机与顶针固定座之间设有电机固定座,所述顶针座电机一端设有原点感应片,所述电机固定座靠近原点感应片一侧设有原点感应器。
进一步的,所述原点感应片与顶针座电机输出轴安装部位一侧设有夹紧头,用于原点感应片安装稳固。
进一步的,所述原点感应器与电机固定座连接部位设有原点感应器座,用于原点感应器的安装,配合原点感应片使用,便于偏心轮的回位。
进一步的,所述顶针座上方设有顶针帽,用于顶起带芯片蓝膜盘的蓝膜。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造