[实用新型]一种高效微波激励气体放电设备

权利要求书

1.一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，包括依次连通的一个工作频率为f0的微波源(1)和一个非线性器件(4)；所述非线性器件(4)根据所述微波源(1)输出微波信号的大小具有两种状态，小信号状态和大信号状态；在所述微波源(1)和所述非线性器件(4)之间设置有至少一个耦合结构(22)；所述耦合结构(22)具有两个状态，所述耦合结构(22)的第一状态对应着弱耦合状态，所述耦合结构(22)的第二个状态对应着强耦合状态；在非线性器件(4)从小信号状态变为大信号状态后，所述耦合结构(22)从第一状态变化到第二状态。

2.根据权利要求1所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，所述非线性器件(4)内部有气体，气体在微波作用下击穿产生等离子体。

3.根据权利要求1所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，所述耦合结构(22)为金属柱，所述耦合结构的第一状态是所述金属柱插入非线性器件内至深度X，所述耦合结构的第二状态是所述金属柱从非线性器件中退出。

4.根据权利要求3所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，设置有至少一根弹簧；压缩弹簧后所述耦合结构(22)处于第一状态，释放弹簧后所述耦合结构(22)处于第二状态。

5.根据权利要求1所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，所述耦合结构(22)为金属螺钉，所述耦合结构的第一状态是所述金属螺钉插入非线性器件(4)内至深度X，所述耦合结构的第二状态是所述金属螺钉从非线性器件(4)中退出。

6.根据权利要求3或者5所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，设置有至少一个电机；所述电机可以带动所述耦合结构(22)在所述耦合结构(22)的第一状态和第二状态之间变化。

7.根据权利要求3所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，在所述耦合结构的第一状态，深度X大于所述金属柱在所述非线性器件(4)内部最大行程的2/3。

8.根据权利要求5所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，在所述耦合结构的第一状态，深度X大于所述金属螺钉在所述非线性器件(4)内部最大行程的2/3。

9.根据权利要求1所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，所述耦合结构(22)为横跨于所述非线性器件(4)两个相对的内表面之间的一只二极管，所述二极管的第一状态为一定程度的导通状态，所述二极管的第二状态为断开状态，两个相对的内表面分别是指微波进入非线性器件(4)的第一截面、和与第一截面相对的第二截面。

10.根据权利要求1所述的一种高效微波激励气体放电设备，其特征在于，在非线性器件(4)中设置有介质管(41)，介质管(41)穿过非线性器件(4)，介质管(41)中有气体通过。