[实用新型]一种芯片制造的移印装置有效
申请号: | 202122194753.9 | 申请日: | 2021-09-11 |
公开(公告)号: | CN215988686U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 叶锦 | 申请(专利权)人: | 上海良薇机电工程有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 蔡辉 |
地址: | 202150 上海市崇明区潘园公路*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 制造 装置 | ||
1.一种芯片制造的移印装置,包括移印机构(1),其特征在于:所述移印机构(1)上设置有用于对芯片进行转动的旋转机构(2),所述旋转机构(2)一侧设置有用于将芯片送入的进料机构(3),所述旋转机构(2)另一侧设置有对移印芯片进行烘干的风干机构(4),所述旋转机构(2)前侧设置有用于将移印芯片移出的出料机构(5),所述旋转机构(2)、所述进料机构(3)、所述风干机构(4)、所述出料机构(5)均与所述移印机构(1)连接;
所述移印机构(1)包括箱体(11),所述箱体(11)上端后侧设置有立柱(12),所述立柱(12)上设置有气缸(13),所述气缸(13)下侧设置有移印头(14);所述旋转机构(2)包括设置在所述移印头(14)下侧的转动盘(21),所述转动盘(21)下端穿过所述箱体(11)上端面,且连接有副齿轮(23),所述副齿轮(23)一侧啮合有主齿轮(24),所述主齿轮(24)安装在角度电机(25)输出轴上,所述转动盘(21)上圆周均布有限位槽(22);
所述进料机构(3)包括设置在所述箱体(11)一侧的输送带(31),所述输送带(31)一侧位于所述箱体(11)上设置有支撑架(32),所述支撑架(32)下端设置有横梁(33),所述横梁(33)上设置有螺杆(34),所述螺杆(34)一端设置有伺服电机(35),所述螺杆(34)上设置有滑动座(36),所述滑动座(36)下端设置有电动伸缩杆(37),所述电动伸缩杆(37)下端设置有吸盘(38);
所述风干机构(4)包括风机(41),所述风机(41)出风端设置有气管(42),所述气管(42)末端设置有罩体(43),所述罩体(43)位于所述转动盘(21)上侧。
2.根据权利要求1所述的一种芯片制造的移印装置,其特征在于:所述出料机构(5)与所述进料机构(3)结构相同,所述横梁(33)与所述支撑架(32)焊接,所述横梁(33)与所述输送带(31)平行,所述横梁(33)与所述支撑架(32)焊接。
3.根据权利要求1所述的一种芯片制造的移印装置,其特征在于:所述罩体(43)呈倒锥形,所述罩体(43)与所述转动盘(21)上的所述限位槽(22)相对应。
4.根据权利要求3所述的一种芯片制造的移印装置,其特征在于:所述罩体(43)内设置有电热丝(44),所述电热丝(44)与所述罩体(43)螺钉连接。
5.根据权利要求1所述的一种芯片制造的移印装置,其特征在于:所述螺杆(34)与所述横梁(33)转动连接,所述滑动座(36)与所述螺杆(34)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片制造的移印装置,其特征在于:所述吸盘(38)与所述电动伸缩杆(37)焊接,所述吸盘(38)上连接有真空抽吸机,所述电动伸缩杆(37)在所述滑动座(36)上设置有两处。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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