[实用新型]一种集成电路成膜光学检测结果标记装置

说明书

本实用新型涉及的是集成电路光学检测技术领域，尤其涉及一种集成电路成膜光学检测结果标记装置。包括固定底板、节流阀、滑轨气缸、标记笔支撑、标记笔、光源支撑、工业光学相机、工业相机固定板、镜头和光源；所述的光源支撑安装在固定底板一侧，工业相机固定板与固定底板固定连接，工业光学相机安装在工业相机固定板上，工业光学相机下部装有镜头，工业相机的镜头下部外周设置有光源；固定底板另一侧装有节流阀、滑轨气缸，所述的滑轨气缸活塞推杆下部装有标记笔。

技术领域

本实用新型涉及的是集成电路光学检测技术领域，尤其涉及一种集成电路成膜光学检测结果标记装置。

背景技术

在集成电路成膜的光学检测中，一般通过光学相机逐一拍摄获取所陶瓷基片上阵列的每个成膜线路图像，然后根据图像处理算法，对其进行处理，提取特征，判断所检测产品是否存在缺陷。由于目前集成电路尺寸越来越小，线路越来越复杂，尽管缺陷可通过检测结果图像放大，明显地在显示器上显示出来，但很难在产品上人工进行直接准确地标记。

实用新型内容

本实用新型目的是针对上述不足之处提供一种集成电路成膜光学检测结果标记装置，

集成电路成膜光学检测系统通过光学检测系统对集成电路成膜进行高精度自动检测，集成电路成膜光学检测结果标记装置将缺陷中心位置对准缺陷标记笔位置，进行标记，检测结果标记速度快，检测结果标记准确率高，提高了集成电路成品率，能满足工业自动化生产需要。

一种集成电路成膜光学检测结果标记装置是采取以下技术方案实现：

一种集成电路成膜光学检测结果标记装置包括固定底板、节流阀、滑轨气缸、标记笔支撑、标记笔、光源支撑、工业光学相机、工业相机固定板、镜头和光源。

所述的光源支撑安装在固定底板一侧，工业相机固定板与固定底板固定连接，工业光学相机安装在工业相机固定板上，工业光学相机下部装有镜头，工业相机的镜头下部外周设置有光源。固定底板另一侧装有节流阀、滑轨气缸，节流阀与压缩空气源相连，滑轨气缸通过管道与节流阀相连。所述的滑轨气缸活塞推杆下部装有标记笔。

所述的光源支撑设置有安装位置调节槽，用于调节工业光学相机安装高度。

所述的工业相机采用高像素光学彩色工业相机。所述的光源采用环形光源。所述的标记笔通过标记笔支撑与滑轨气缸活塞推杆相连。

所述的标记笔采用市售标记笔或记号笔。

一种集成电路成膜光学检测结果标记装置与集成电路成膜光学检测系统配套使用，通过固定底板安装在Z轴模组上，Z轴模组安装底板通过立柱一和立柱二安装在工作平台上部，Z轴模组安装在Z轴模组安装底板中部，工业相机的镜头对准工作平台，工业相机的镜头下部外周设置有光源，构成光学系统。集成电路成膜光学检测系统通过光学检测系统，对集成电路成膜进行高精度检测时，首先根据所检测集成电路成膜陶瓷基片大小，调节托料平台上的定位块，然后将其集成电路成膜陶瓷基片放入托料平台。托料平台在X轴模组和Y轴模组的带动下，送到高像素光学彩色工业相机的镜头正下方；Z轴模组带动整个光学系统上下移动，进行对焦；随后，再通过X-Y轴模组，移动托料平台，对集成电路成膜陶瓷基片上阵列的每个线路单元进行检测。通过集成电路光学检测软件系统，判断产品是否存在缺陷，如果存在缺陷，再通过软件算法，算出产品缺陷所在区域的中心值，然后运动控制系统将产品上缺陷所在中心点对准标记笔，标记笔在滑轨气缸作用下，向下做标记。从而在产品上直接准确地标记出缺陷所在位置，方便操作人员对集成电路成膜陶瓷基片上的缺陷单元进行后续处理。

一种集成电路成膜光学检测结果标记装置与集成电路成膜光学检测系统配套使用，集成电路成膜光学检测系统通过光学检测系统对集成电路成膜进行高精度自动检测，检测速度快，检测准确率高。集成电路成膜光学检测结果标记装置将缺陷中心位置对准缺陷标记笔位置，进行标记，检测结果标记速度快，检测结果标记准确率高，提高了集成电路成品率，能满足工业自动化生产需要。

附图说明