[实用新型]一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，在对太阳能电池片加工过程中，需要使用到扩散炉，现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，具备均匀喷淋的优点，解决了现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架，所述扩散炉本体内腔底部的左侧固定安装有温度探测器，所述扩散炉本体的顶部固定安装有第一风机，所述第一风机的输入端固定连接有吸气管，所述吸气管的一侧固定连接有连接口，所述第一风机的输出端固定连接有第一出气管，所述第一出气管的底部贯穿扩散炉本体和壳体并延伸至壳体的内部，所述第一出气管的底部连通有第二出气管，所述第二出气管的底部固定连接有喷洒头，所述喷洒头的底部贯穿至壳体的底部，所述箱体的顶部固定安装有第二风机，所述第二风机的输入端固定连接有输气管，所述输气管的一侧贯穿至扩散炉本体的内腔，所述第二风机的输出端固定连接有导气管，所述导气管的底部贯穿至箱体的内腔，所述箱体内腔的底部安装有第二放置架，所述第二放置架的内腔填充有活性炭吸附块，所述第二放置架的底部开设有通孔。

优选的，所述壳体的两侧均固定连接有固定杆，且固定杆的一侧固定连接于扩散炉本体的内壁。

优选的，所述第二放置架两侧的顶部和底部均固定连接有连接杆，所述连接杆的外侧与箱体的内壁固定连接。

优选的，所述箱体内腔的底部固定连接有高效过滤网，所述高效过滤网位于第二放置架的底部，所述扩散炉本体的内壁固定连接有密封层。

优选的，所述第二出气管表面的两侧均套设有限位块，且限位块的顶部固定连接于壳体内腔的顶部。

优选的，所述密封层包括有第一密封垫和第二密封垫，且第一密封垫和第二密封垫的厚度均为0.03mm-0.05mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果，同时解决了现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量的问题。

2、本实用新型通过活性炭吸附块和高效过滤网的设置，对反应后的气体进行过滤，防止有害气体直接排出，大大威胁使用者的身体健康。

附图说明