[实用新型]一种小光斑的光束质量测量分析装置有效
申请号: | 202122226762.1 | 申请日: | 2021-09-15 |
公开(公告)号: | CN215952780U | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 肖志宏 | 申请(专利权)人: | 青沃精密仪器(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01J11/00 | 分类号: | G01J11/00;G01B11/26 |
代理公司: | 上海领匠知识产权代理有限公司 31404 | 代理人: | 李华 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光斑 光束 质量 测量 分析 装置 | ||
本实用新型公开了一种小光斑的光束质量测量分析装置,涉及光束分析领域,包括箱体和盒体,所述箱体外壳的顶部设置有真空泵,所述箱体与盒体之间通过凹槽内的橡胶环片保持气密性,所述盒体的中部设置有感光环,所述感光环可向通过固定块固定于盒体顶端的调节信号发送模块发送信号,所述调节信号发送模块可无线向位于箱体后端的调节信号接收模块发送信号,调节信号接收模块可向位于箱体内壁后端的液压缸发送信号。本实用新型将在装置顶部增加了抽真空泵,抽去装置内部的空气可消除因空气内小颗粒折射光线产的误差,设置可自调节角度的盒体,通过感光环和液压杆自动微调,使光线能够垂直照射倒两块感光板上,以便通过测量半径之差来计算散射角度。
技术领域
本实用新型涉及光束分析领域,具体为一种小光斑的光束质量测量分析装置。
背景技术
对于激光的应用来说,激光的光束质量是一个非常重要的参数,激光的光束可理解为一块小光斑,因此小光斑的光束质量测试的重要性日益凸显,适用范围广和高测量精度的测试设备是市场所急需的。
现有的光束质量检测装置受空气中悬浮颗粒物折射的影响,测量精度有时达不到实用需求,且测量散射角时得手动操作将光束散射方向对准测量用具,易造成较大的误差。
实用新型内容
基于此,本实用新型的目的是提供一种小光斑的光束质量测量分析装置,以解决现有的光束质量检测装置受空气中悬浮颗粒物折射的影响,测量精度有时达不到实用需求,且测量散射角时得手动操作将光束散射方向对准测量用具,易造成较大的误差的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种小光斑的光束质量测量分析装置,包括箱体和盒体,所述箱体外壳的顶部设置有真空泵,所述盒体的前端通过万向轴固定在箱体开口处的内壁上,且后端通过固定在所述箱体后端内壁上的多组液压杆支撑,所述箱体开口处和盒体的前端的外壁上设置有对向环形的凹槽,所述箱体与盒体之间通过凹槽内的橡胶环片保持气密性,所述橡胶环片两端的两侧皆设置有法兰盘,所述橡胶环片和法兰盘通过螺栓和螺母紧固在凹槽内,所述盒体的中部设置有感光环,所述感光环可向通过固定块固定于盒体顶端的调节信号发送模块发送信号,所述调节信号发送模块可无线向位于箱体后端的调节信号接收模块发送信号,所述调节信号接收模块可向位于箱体内壁后端的液压缸发送信号。
通过采用上述技术方案,将装置内设置为密闭空间,在装置顶部增加了抽真空泵,抽去装置内部的空气可消除因空气内小颗粒折射光线产的误差,设置可自调节角度的盒体,在手动对准光线时可能还存在着一些小范围的误差,可通过感光环和液压杆自动微调,使光线能够垂直照射倒两块感光板上,以便通过测量半径求之差值与事先固定好的距离来计算散射角度。
本实用新型进一步设置为,所述盒体前端的中心设置有透光薄片,所述透光薄片的两侧设置有橡胶环。
通过采用上述技术方案,透光薄片和橡胶环可防止空气进入箱体内部。
本实用新型进一步设置为,所述盒体的内部设置有通过吊杆吊于透光薄片后的功率探头,所述功率探头可向通过固定块固定于盒体顶端的功率探测模块发送信号。
通过采用上述技术方案,可探测小光斑的功率值。
本实用新型进一步设置为,所述感光环前设置有与其内径相等的光阑,所述盒体的内部的后端设置有两块感光板,所述感光板可向通过固定块固定于盒体顶端的散射角分析模块发送信号。
通过采用上述技术方案,可通过感光环和液压杆自动微调,使光线能够垂直照射倒两块感光板上,以便通过测量半径求之差值与事先固定好的距离来计算散射角度。
综上所述,本实用新型主要具有以下有益效果:
1、本实用新型通过将装置内设置为密闭空间,在装置顶部增加了抽真空泵,抽去装置内部的空气可消除因空气内小颗粒折射光线产的误差;
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