[实用新型]一种边抛机进给压力测量装置

说明书

本实用新型提供了一种边抛机进给压力测量装置，包括固定板、压力传感器、压板，所述固定板与边抛台固定连接，所述压力传感器一端通过高度调节组件与固定板配合安装，另一端与压板固定连接。本实用新型有益效果：通过固定板、压力传感器、高度调节组件、压板之间的配合安装，可以测量边抛机的边抛轮在不同高度时的进给压力。

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其是涉及一种边抛机进给压力测量装置。

背景技术

在硅片加工过程中，需要对硅片的边缘进行抛光，边抛轮需要从不从高度对硅片进行抛光。目前使用的边抛机具备进给压力检测功能，当边抛机的边抛轮对于硅片的进给压力过大时，会使边抛台上的真空槽无法吸住硅片，导致硅片掉落的现象，造成产品报废率提升，提高了生产成本；当边抛轮对于硅片的进给压力过小时，会造成去抛光效率低下，抛光质量不达标等问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种边抛机进给压力测量装置，以解决目前边抛机不具备压力检测功能，而导致的生产成本高，加工质量低的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种边抛机进给压力测量装置，包括固定板、压力传感器、压板，所述固定板与边抛台固定连接，所述压力传感器一端通过高度调节组件与固定板配合安装，另一端与压板固定连接。

进一步的，所述压板一端为弧形面。

进一步的，所述压板和压力传感器之间还设有连接板，所述连接板上开有连接通孔，所述连接通孔内侧设有缓冲螺栓，所述压板上开有与连接通孔对应的螺纹孔，所述缓冲螺栓外侧设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧安装于连接板和压板之间，所述连接板与压力传感器固定连接，所述缓冲螺栓与压板螺纹连接。

进一步的，所述高度调节组件包括调节板、调节螺栓、压缩弹簧，所述固定板设有导向柱，所述调节板上开有与导向柱对应的导向孔，所述压缩弹簧直径大于导向柱直径，所述固定板上端面上固设有调节螺母，所述固定板上还开有与调节螺母对应的调节通孔，所述调节孔直径大于调节螺栓直径，所述调节板上开有与调节螺栓对应的安装通孔；所述压缩弹簧安装于导向柱外侧，且位于调节板和固定板之间，所述调节螺栓安装于安装通孔内侧，所述调节螺栓与调节螺母螺纹连接，所述固定板与边抛台配合安装，所述调节板与压力传感器固定连接。

进一步的，所述调节板上还设有与导向孔对应的导向管，所述导向管内径与导向柱直径相匹配。

进一步的，所述边抛台上表面开多个安装螺纹孔，多个所述安装螺纹孔在一个同心圆上，所述固定板上开有安装螺纹孔对应的弧形通孔，多个所述弧形通孔弧形在一个同心圆上；所述弧形通孔内侧设有固定螺栓，所述固定螺栓与边抛台螺纹连接。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置具有以下有益效果：

(1)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，通过固定板、压力传感器、高度调节组件、压板之间的配合安装，可以测量边抛机的边抛轮在不同高度时的进给压力。

(2)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，压板临近边抛轮的一端为弧形面，弧形面结构能够更加贴合边抛轮的侧面，使边抛轮的进给压力的测量过程更加稳定。

(3)本实用新型所述的一种边抛机进给压力测量装置，固定板上设有弧形通孔，可以对装置与边抛台在水平面上的角度进行调整。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的装置结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的装置俯视结构示意图；