[实用新型]一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉

说明书

本实用新型公开了一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉，包括底座和炉体，所述炉体安装于底座顶部中心处并水平设置，且炉体一侧为敞开式并铰接有炉门，所述炉体内部滑动有工作板并水平设置，且炉体内底部两端均设有用于方便移动工作板的方便移动机构，所述工作板底部一端固定连接有固定块，且固定块一侧固定连接有连接杆并水平设置，所述炉门一侧设有用于连接连接杆的连接机构，且底座正上方设有和炉体相适配的C型毛刷板，所述炉体位于C型毛刷板两竖边之间，且C型毛刷板两个竖边底部均固定连接有滑块，所述底座顶部两端均设有用于限位滑块的限位机构。本实用新型可使炉门和工作板进行联动，进而提高了该高温退火炉的使用效率。

技术领域

本实用新型涉及高温退火炉技术领域，尤其涉及一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。

现有的高温退火炉不具有防尘的功能，导致高温退火炉本体上粘附有大量的灰尘，严重影响了高温退火炉的使用性能，因此，亟需设计一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种可防灰尘的金属材料用高温退火炉，包括底座和炉体，所述炉体安装于底座顶部中心处并水平设置，且炉体一侧为敞开式并铰接有炉门，所述炉体内部滑动有工作板并水平设置，且炉体内底部两端均设有用于方便移动工作板的方便移动机构，所述工作板底部一端固定连接有固定块，且固定块一侧固定连接有连接杆并水平设置，所述炉门一侧设有用于连接连接杆的连接机构，且底座正上方设有和炉体相适配的C型毛刷板，所述炉体位于C型毛刷板两竖边之间，且C型毛刷板两个竖边底部均固定连接有滑块，所述底座顶部两端均设有用于限位滑块的限位机构，且底座内部设有用于移动C型毛刷板的第一移动机构。

作为本实用新型的进一步方案，所述方便移动机构包括滑轨，且滑轨固定连接于炉体内底部一端并水平设置，所述滑轨内部转动有滑轮并有多个均匀分布于滑轨内部，且工作板底部放置于滑轮顶部。

作为本实用新型的进一步方案，所述连接机构包括滑槽，所述滑槽开设有炉门一侧并水平设置，且滑槽内部滑动有铰接板，所述铰接板顶端和连接杆顶端铰接。

作为本实用新型的进一步方案，所述第一移动机构包括条形板和丝杆，且条形板滑动于底座内部并水平设置，所述C型毛刷板两个竖边一侧均固定有C型杆，且两个C型杆下横边均穿过底座一侧并分别固定于条形板一侧两端。

作为本实用新型的进一步方案，所述丝杆转动于底座内部中心处并水平设置，且丝杆穿过条形板并通过螺纹连接于条形板内部，所述底座内部一侧水平安装有驱动电机，且驱动电机的输出轴安装于丝杆顶端中心处。

作为本实用新型的进一步方案，所述限位机构包括滑道，且滑道固定连接于底座顶部一端并水平设置，所述滑块滑动于滑道内部。

作为本实用新型的进一步方案，所述限位机构包括C型柱，且C型柱两个竖边分别固定连接于底座顶部一端两端，所述C型柱横边穿过滑块并滑动于滑块内部。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型，当需要使用该高温退火炉时，首先打开炉门，则炉门移动会带动滑槽移动，滑槽移动会带动铰接板移动，铰接板移动会带动连接杆移动，连接杆移动会带动固定块移动，固定块移动会带动工作板移动，从而可边开启炉门边使工作板往炉体外部移动，避免了先打开炉门在使工作板移出炉体，导致降低工作效率的情况发生，再把金属材料放置于工作板上，关闭炉门同时使工作板往炉体内部移动，进一步的可使炉门和工作板进行联动，进而提高了该高温退火炉的使用效率。