[实用新型]一种PERC电池背面多层膜结构

权利要求书

1.一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅。

2.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述氧化铝层与所述氮化硅层之间设置有第二富氢层。

3.根据权利要求2所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第二富氢层与所述氮化硅层之间设置有第二氧化硅层和/或氮氧化硅层。

4.根据权利要求3所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层及氮化硅层为单层或多层结构。

5.根据权利要求4所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层均为单层结构，所述氮化硅层为多层结构。

6.根据权利要求5所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一氧化硅层的厚度范围为1-2nm，所述氧化铝层的厚度范围为5-15nm，所述第二氧化硅层的厚度范围为3-8nm，所述氮氧化硅层的厚度范围为15-25nm，所述氮化硅层的总厚度范围为50-80nm。