[实用新型]一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材，包括靶材背板，所述靶材背板的上表面设置有铜靶材块，所述靶材背板的一侧设置有加压装置，所述铜靶材块的上表面位于铜靶材块的一侧设置有固定定位架，所述靶材背板的上表面位于铜靶材块的另一侧设置有活动定位架。本实用新型所述的一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材，属于靶材领域，能够对铜靶材块于靶材背板上的位置进行确定，有利于提高铜靶材块焊接位置的准确率，活动定位架和固定定位架对内部区域放置的铜靶材块进行侧向加压，能够提高第一铜靶材与第二铜靶材的贴合程度，降低在焊接过程中第一铜靶材与第二铜靶材晃动导致拼接缝隙扩大的风险。

技术领域

本实用新型涉及靶材领域，特别涉及一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材。

背景技术

金属靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，为了扩大靶材的尺寸往往都是将若干靶材片拼接在背板上，在拼接时采用的是将若干具有一定厚度的长方形块靶材片边对边拼接到一块，随后把拼接的靶材一同焊接到背板上；然而，现有的铜靶材在拼接后与背板焊接过程中受晃会存在缝隙扩大或拼接错位的问题，且拼接的铜靶材直接放置在背板上，使得焊接时铜靶材在位移后会出现焊歪的麻烦。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种真空镀膜行业溅射靶材中的铜靶材，包括靶材背板，所述靶材背板的上表面设置有铜靶材块，所述靶材背板的一侧设置有加压装置，所述铜靶材块的上表面位于铜靶材块的一侧设置有固定定位架，所述靶材背板的上表面位于铜靶材块的另一侧设置有活动定位架，所述加压装置包括调位滑座、固定支板、L形支架、调位滑块、调位螺套、紧固螺杆和防滑旋钮，所述调位滑座的上表面固定安装有固定支板，所述固定支板的一侧表面固定安装有调位螺套，所述固定支板的调位螺套内部穿设有紧固螺杆，所述紧固螺杆的一端固定安装有防滑旋钮，所述调位滑座的内部嵌设有调位滑块，所述调位滑块的一端固定安装有L形支架。

优选的，所述调位滑座的上表面开设有导向滑腔，所述调位滑座的内壁开设有侧边滑轨。

优选的，所述铜靶材块包括第一铜靶材和第二铜靶材，所述靶材背板的上表面位于第一铜靶材的一侧设置有第二铜靶材，所述第一铜靶材的一侧表面开设有拼接凹槽，所述第二铜靶材的一侧表面固定安装有拼接卡块，所述靶材背板的上表面位于第一铜靶材和第二铜靶材周围设置有背板安装孔。

优选的，所述L形支架的一端与活动定位架的上表面边缘处固定连接，所述活动定位架通过L形支架与调位滑座滑动连接，所述调位滑座与靶材背板的一侧表面固定连接。

优选的，所述固定定位架与靶材背板的上表面固定连接，所述固定定位架的内侧表面与第二铜靶材的侧面贴合。

优选的，所述紧固螺杆与调位螺套螺纹连接，所述防滑旋钮的表面设置有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过设置的固定定位架和活动定位架，能够对铜靶材块于靶材背板上的位置进行确定，有利于提高铜靶材块焊接位置的准确率，通过设置的加压装置，活动定位架和固定定位架对内部区域放置的铜靶材块进行侧向加压，能够提高第一铜靶材与第二铜靶材的贴合程度，降低在焊接过程中第一铜靶材与第二铜靶材晃动导致拼接缝隙扩大的风险。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的拆分结构示意图；

图3为本实用新型的固定定位架和活动定位架结构示意图；

图4为本实用新型的加压装置拆分结构示意图；

图5为本实用新型的铜靶材块拆分结构示意图。