[实用新型]硅片碎片检测机构

说明书

本实用新型公开硅片碎片检测机构，涉及硅片生产加工领域。该硅片碎片检测机构，包括龙门架，龙门架的顶端固定安装有检测相机，龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。该硅片碎片检测机构，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产加工技术领域，具体为硅片碎片检测机构。

背景技术

在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

而在实际操作的过程中，为了提高整体清洗过程的速度，往往采用自动化机械设备替代人工进行清洗操作，但是在清洗的过程中，硅片经由输送部件进行移动，难免存在与设备发生碰撞或者是前期生产未发觉到的瑕疵和残缺，如果不及时查找出来，后期应用到半导体器件上，会直接导致该半导体器件为不合格产品，耗费更多的人力和成本，而传统的人工检测效率非常慢，而且精准度较差，因此需要提供一种硅片碎片检测机构，以此解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型公开了硅片碎片检测机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：硅片碎片检测机构，包括龙门架，所述龙门架的顶端固定安装有检测相机，所述龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，所述固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。

优选的，所述龙门架包括支撑柱、顶部横梁、安装杆和支撑杆，所述顶部横梁固定安装在支撑柱的顶端，所述安装杆固定安装在支撑柱的底端，所述支撑杆的两端分别固定安装在支撑柱和安装杆的外表面。

优选的，所述检测相机的侧面固定安装有安装座，所述安装座通过螺栓固定安装在顶部横梁的外表面。

优选的，所述固定组件的背面固定安装有装配板，所述装配板固定安装在支撑柱的外表面，所述安装杆的底部固定安装有支撑垫板。

优选的，所述固定组件包括固定板、安装架和挡片，所述固定板固定安装在装配板的外表面，所述安装架固定安装在固定板的两侧，所述挡片固定连接在安装架的端部。

优选的，所述安装架的内部且靠近固定板的一端固定安装有限位板，所述照明灯的两端分别转动连接在限位板和挡片的内部。

优选的，所述照明灯的两端均固定连接有限位轴，所述限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，所述限位轴滑动连接在弧形槽的内部，所述照明灯的外表面固定安装有电源线。

本实用新型公开了硅片碎片检测机构，其具备的有益效果如下：

1、该硅片碎片检测机构，通过将龙门架整体架设在插片清洗一体机上，通过螺栓将支撑垫板与清洗机主体进行安装，然后通过将装配板安装在支撑柱外表面适合的高度，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。

2、该硅片碎片检测机构，通过在照明灯的两端均固定连接有限位轴，限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，限位轴滑动连接在弧形槽的内部，在使用时通过转动照明灯，使得限位轴在弧形槽内部转动，以此调整照明灯照明角度。