[实用新型]一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统

权利要求书

1.一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

该系统包括：渐变波导(1)、耐高温介质管(2)、滑动弧模块(3)、上微波转接(4)、磁体系统(5)、上腔体(6)、介质管外冷却管(7)、下密封圈(8)、冷却旋环(9)、上密封圈(10)、顶端密封板(11)、下腔体(12)、底部挡板(13)；

所述的渐变波导(1)包括矩形部分、渐变部分和顶端部分，所述耐高温介质管(2)穿过所述顶端部分的中部区域，所述滑动弧模块(3)放置在耐高温介质管(2)的顶部，且所述耐高温介质管(2)通过上微波转接(4)、上腔体(6)、下密封圈(8)和上密封圈(10)固定于所述渐变波导(1)，并形成微波等离子体反应腔，所述滑动弧模块(3)、下密封圈(8)和上密封圈(10)位于上腔体(6)内部；所述上微波转接(4)外部安装冷却旋环(9)，所述耐高温介质管(2)穿过渐变波导(1)后向下穿过下腔体(12)；所述底部挡板(13)和所述顶端密封板(11)固定于下腔体(12)下端，并通过密封圈固定于耐高温介质管(2)底部，所述介质管外冷却管(7)置于耐高温介质管(2)外侧，并置于所述顶端部分的中部区域，以冷却产生等离子体时对耐高温介质管(2)的热冲击，所述磁体系统(5)固定于下腔体(12)与渐变波导(1)之间。

2.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述耐高温介质管(2)由99陶瓷、95陶瓷、石英、氮化硼和氮化硅材料中任一种烧制而成。

3.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述耐高温介质管(2)为石英管。

4.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述磁体系统包括磁体直流电源和磁体线圈，所述磁体直流电源用于磁体线圈产生磁场所需的励磁电流，所述磁体线圈用于产生所述磁增强微波等离子体辅助化学反应系统所需的磁场。

5.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述渐变波导(1)为单端变窄结构，或双边变窄结构，或E-H交叉结构。

6.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述系统还包括短路活塞，该短路活塞紧密连接在渐变波导(1)的后端。

7.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

还包括微波电源，用于为所述磁增强微波等离子体辅助化学反应系统提供微波，微波通过渐变波导传输至反应系统，所述微波电源的频率为2.45GHz、915MHz，或1GHz-10GHz中的单个频点或带有一定带宽的微波频率段。

8.根据权利要求1所述的一种耦合高频点火器的磁增强微波等离子体辅助化学反应系统，其特征在于，

所述磁增强微波等离子体辅助化学反应系统工作压力为10Pa至10000Pa，常压、或过常压，且常压＝1atm，1atm过常压10atm。