[实用新型]一种抛光台温度控制装置

说明书

本实用新型公开了一种抛光台温度控制装置，涉及机械加工技术领域，包括柜体、固定设置在柜体顶端外侧壁上的抛光台，抛光台的侧壁内开设有空腔，柜体的内侧壁上分别固定安装有冷水箱与水泵，水泵的一端与冷水箱之间通过水管a相连接，水泵的另一端固定连接有水管b，水管b的末端固定连接有导流盒，导流盒远离水管b的一侧固定连接有水管c，水管c的末端固定连接在抛光台的侧壁上，导流盒的内侧壁上转动连接有叶轮，叶轮的侧壁上固定连接有转杆a，转杆a的输出轴末端贯穿导流盒的侧壁并延伸至导流盒的外部，本实用新型可加快抛光台表面的空气流动，配合冷水的热传导吸热，综合性降低抛光台的表面温度，提升抛光效果。

技术领域

本实用新型涉及机械加工技术领域，尤其涉及一种抛光台温度控制装置。

背景技术

由于抛光机理是通过化学作用后，对抛除材料形成络合物，后对络合物进行机械作用去除，所以化学作用是抛光过程中的重要作用。目前在抛光过程中大多采用的抛光液进行抛光，抛光液是分别加入了纳米级磨料的酸性或碱性的化学液体，在化学反应过程中具有热量的释放，从而造成温度的上升；

抛光台上基板表面的抛光率不仅受到抛光面上接触压力的影响，还受到抛光面温度的影响。抛光温度是影响半导体晶圆抛光速率与质量的一个重要参数，因此对抛光台进行合理控温可提升抛光质量，传统对抛光台温度控制方式大多采用浇水的方式进行降温，抛光碎屑或抛光液等材料与水混合流淌，会严重影响工作台洁净度，其次也易稀释抛光液的浓度，由此造成抛光的质量也不够稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的抛光台温度控制方式易污染工作台且不适用于使用抛光液抛光的缺点，而提出的一种抛光台温度控制装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种抛光台温度控制装置，包括柜体、固定设置在柜体顶端外侧壁上的抛光台，所述抛光台的侧壁内开设有空腔，所述柜体的内侧壁上分别固定安装有冷水箱与水泵，所述水泵的一端与冷水箱之间通过水管a相连接，所述水泵的另一端固定连接有水管b，所述水管b的末端固定连接有导流盒，所述导流盒远离水管b的一侧固定连接有水管c，所述水管c的末端固定连接在抛光台的侧壁上，所述导流盒的内侧壁上转动连接有叶轮，所述叶轮的侧壁上固定连接有转杆a，所述转杆a的输出轴末端贯穿导流盒的侧壁并延伸至导流盒的外部，所述柜体的顶端外侧壁上固定连接有支架，所述支架的侧壁上转动连接有转杆b，所述转杆b靠近抛光台的一端固定安装有风扇扇叶，所述柜体的侧壁上贯穿设置有传动件，所述转杆a与转杆b之间通过传动件相连接。

上述技术方案进一步包括：

所述传动件包括贯穿设置在柜体顶端侧壁上的转杆c，所述转杆c的顶端侧壁与底端侧壁均固定安装有锥齿轮b，所述转杆a的末端固定安装有锥齿轮a，所述转杆b的侧壁上固定安装有锥齿轮c。

所述锥齿轮a与转杆c底端侧壁上的锥齿轮b相互啮合，所述锥齿轮c与转杆c顶端侧壁上的锥齿轮b相互啮合。

所述水管b的内部与导流盒的内部相互连通，所述导流盒的内部与水管c的内部相互连通，所述水管c的内部与空腔的内部相互连通。

所述抛光台的侧壁上贯穿连接有排水管，所述冷水箱的侧壁上贯穿连接有冷水管。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

本实用新型中，通过冷水箱、水泵、导流盒、空腔、叶轮、风扇扇叶以及传动件之间的配合使用，通过启动水泵可将冷水箱中的冷水不断送入到抛光台内部的空腔中，通过热传导作用，可有效吸收抛光台的表面热量，同时冷水在输送过程中，由水流的流动带动侧对着抛光台的风扇扇叶进行转动，可加快抛光台表面的空气流动，配合冷水的热传导吸热，综合降低抛光台的表面温度，提升抛光效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种抛光台温度控制装置的结构示意图；