[实用新型]一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪

权利要求书

1.一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，包括：

M1运动轴、M5运动轴、门型架、安装板、C1检测镜头、C2检测镜头、M2运动轴、M4运动轴，M3运动轴、光谱共焦镜头组和计算机处理器，所述M1运动轴上滑动安装有取料托盘；所述M5运动轴上滑动安装有接料托盘；所述M5运动轴与所述M1运动轴相间隔、且平行设置；所述门型架设于所述M1运动轴和M5运动轴的一侧，并与所述M1运动轴和M5运动轴垂直设置；所述M1运动轴、M5运动轴和门型架均设于所述安装板上；所述C1检测镜头、C2检测镜头相间隔地设置于所述的门型架上，且所述C1检测镜头、C2检测镜头分别与所述M1运动轴和M5运动轴相对应设置；所述M2运动轴，M4运动轴均设于所述门型架上，并能够沿着所述的门型架长度方向进行滑动，所述M2运动轴上设有G1气动导轨，所述G1气动导轨的输出端设有P1吸笔，所述M4运动轴上设有G2气动导轨，所述G2气动导轨的输出端设有P2吸笔；所述M3运动轴与所述的门型架平行设置，所述M3运动轴上滑动安装有检测工件盘；所述光谱共焦镜头组相对设置于所述门型架和安装板上；所述光谱共焦镜头组设于所述C1检测镜头、C2检测镜头之间；

所述计算机处理器分别与所述的M1运动轴、M5运动轴、C1检测镜头、C2检测镜头、M2运动轴、M4运动轴，M3运动轴、光谱共焦镜头组电连接；

取料托盘在M1运动轴驱动下滑动到达C1检测镜头下方，C1检测镜头对隔圈位置和有无隔圈进行判断，若C1检测镜头检测不到隔圈，则M1运动轴带动隔圈托盘移动至下一位置，若C1检测镜头检测到隔圈，则M2运动轴运动到隔圈上方，G1气动导轨带动P1吸笔将隔圈吸取，同时，检测工件盘在M3运动轴的带动下运动到进料位置，P1吸笔将待测隔圈放置在检测工件盘的工件位，检测工件盘在M3运动轴的带动下运动到检测位置，上下两组光谱共焦镜头对隔圈的上下位置进行测量，并与标准样品数据进行对比，获得与标准样品的位置差D和D’，经过计算获得待检测样品的实际尺寸，测试结束后检测工件盘在M3运动轴的带动下运动到出料位置，若检测结果不满足预设条件，隔圈由P2吸笔吸取后在M4运动轴的带动下投入废料桶，若检测结果满足预设条件，接料托盘由M5运动轴带动下，运动到接料位置，由C2检测镜头判断接料托盘上的接料位有无隔圈和位置信息，若接料位无隔圈，则接料托盘移动至下一位置，若接料位有隔圈，则隔圈由P2吸笔吸取后在M4运动轴的带动下放置于接料托盘上的接料位置。

2.如权利要求1所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，M1运动轴和M5运动轴的定位精度≤5μm，重复精度≤5μm，水平和垂直直线度≤10μm/300mm。

3.如权利要求2所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述取料托盘和接料托盘平面度≤10μm。

4.如权利要求3所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述C1检测镜头和C2检测镜头的调节精度≤20μm，镜头工作距离≥150mm，分辨率≤4.8μm，畸变≤0.08％。

5.如权利要求4所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述M2运动轴、M3运动轴和M4运动轴的定位精度≤5μm，重复精度≤5μm，水平和垂直直线度≤10μm/300mm。

6.如权利要求5所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述G1气动导轨和G2气动导轨的行程可调范围为20～50mm。

7.如权利要求6所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述P1吸笔和P2吸笔的可调气压范围为0～100Pa。

8.如权利要求7所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，所述检测工件盘上下表面平行度≤10μm，检测位置的平面度≤1μm，检测位置带负真空吸气功能，气压在0～100Pa可调，测厚时吸气，检测完毕停止。

9.如权利要求8所述的一种高精度非接触式隔圈厚度在线高速测量仪，其特征在于，两组所述光谱共焦镜头的调节精度≤20μm；镜头的测量量程≥3mm，焦距≥5mm，测量精度±0.02％FS。