[实用新型]双光路玻璃钻孔装置

说明书

本实用新型公开一种双光路玻璃钻孔装置，其包括第一光源、第二光源、光路切换单元、加工单元以及控制单元，其中，第一光源、第二光源分别具有超快激光器、纳秒激光器，分别用于产生超快激光、纳秒激光，光路切换单元设于第一光源、第二光源的输出端，加工单元设于光路切换单元的输出端，控制单元用于控制第一光源、第二光源进行切换，以使超快激光、纳秒激光分别经光路切换单元进入加工单元，并经加工单元出射后对玻璃进行加工，因此，利用纳秒激光保证加工效率，同时又避免了纯纳秒激光的热裂作用，避免裂口产生，从而在保持加工效率的同时又提高了玻璃的加工品质。

技术领域

本实用新型涉及激光玻璃钻孔技术领域，尤其涉及一种双光路玻璃钻孔装置。

背景技术

在玻璃加工领域，对玻璃钻孔主要有两种方式：一种是采用纳秒激光进行玻璃钻孔，纳秒激光具有高效的钻孔速度，但是纳秒激光采用控制裂纹走向的方式进行玻璃切割，因此加工过程中会在玻璃开口处尤其是在最后收尾阶段，对玻璃表面造成大的崩边尺寸，并且崩边尺寸往往都在100um以上，但部分行业要求崩边尺寸往在30um以内；另外，裂纹会对后续玻璃的稳定性造成一定隐患，因此在玻璃加工行业中，采用纳秒激光加工后，都需要对玻璃缺口进行抛光处理，因此费时费力，导致加工效率低。另一种是采用皮秒激光进行玻璃钻孔，皮秒激光切割玻璃边缘质量高，但因皮秒特性，无法对1mm以上的玻璃实现高速钻孔。

因此，有必要提供一种在保持加工效率的同时提高加工品质的双光路玻璃钻孔装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在保持加工效率的同时提高加工品质的双光路玻璃钻孔装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种双光路玻璃钻孔装置，其包括第一光源、第二光源、光路切换单元、加工单元以及控制单元，其中，所述第一光源、所述第二光源分别具有超快激光器、纳秒激光器，分别用于产生超快激光、纳秒激光，所述光路切换单元设于所述第一光源、所述第二光源的输出端，所述加工单元设于所述光路切换单元的输出端，所述控制单元用于控制所述第一光源、所述第二光源进行切换，以使所述超快激光、所述纳秒激光分别经所述光路切换单元进入所述加工单元，并经所述加工单元出射后对玻璃进行加工。

较佳地，通过所述第一光源、所述第二光源的切换，以使所述超快激光经所述光路切换单元、所述加工单元出射后对玻璃的顶部及底部进行加工，使所述纳秒激光经所述光路切换单元、所述加工单元出射后对玻璃的中部进行加工。

较佳地，所述超快激光通过螺旋线模式或/和同心圆模式对玻璃的顶部及底部进行加工。

较佳地，所述第一光源包括所述超快激光器以及设于其输出端的第一扩束镜，所述第一扩束镜用于对所述超快激光器出射的超快激光进行扩束以及发散角处理；所述第二光源包括纳秒激光器以及设于其输出端的第二扩束镜，所述第二扩束镜用于对所述纳秒激光器出射的纳秒激光进行扩束以及发散角处理；所述光路切换单元包括第一反射镜以及设于其输出端的合束镜，并且所述第一反射镜、所述合束镜分别设于所述第一扩束镜的输出端、所述第二扩束镜的输出端；所述加工单元包括振镜扫描系统以及设于其输出端的远心聚焦场镜，所述振镜扫描系统设于所述合束镜的输出端。

较佳地，所述光路切换单元还包括第二反射镜，所述第二反射镜设于所述合束镜与所述振镜扫描系统之间，所述合束镜出射的激光通过所述第二反射镜的反射后进入所述振镜扫描系统。

较佳地，所述第二反射镜为45°反射镜。

较佳地，所述加工单元还包括对应于所述远心聚焦场镜设置的除尘系统，所述除尘系统用于吸走加工粉尘。

较佳地，所述振镜扫描系统为三维扫描振镜或者二维扫描振镜与单轴运动件的组合体。

较佳地，所述超快激光器、所述纳秒激光器的波长均为501nm-550nm或者1064nm，频率均为100K，功率均为10W。