[实用新型]一种集成电路板蚀刻加工限位结构有效
申请号: | 202122308830.9 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN216354137U | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 吴长江 | 申请(专利权)人: | 上海润桥电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 深圳泛航知识产权代理事务所(普通合伙) 44867 | 代理人: | 邓爱军 |
地址: | 201799 上海市青浦区徐泾镇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 电路板 蚀刻 加工 限位 结构 | ||
1.一种集成电路板蚀刻加工限位结构,包括空心板(1)、升降机构(3)和限位机构(5),其特征在于:所述空心板(1)的顶部设置有顶板(2),空心板(1)的底部通过螺栓固定安装有限位板A(4);
所述升降机构(3)设置于顶板(2)上,升降机构(3)包括电动推杆(301)、安装块(304)和铰接板(305);
所述限位机构(5)位于空心板(1)的内部,限位机构(5)包括驱动组件(51)和固定组件(52),驱动组件(51)可驱动固定组件(52)相对于空心板(1)横向运动。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻加工限位结构,其特征在于:所述顶板(2)的顶部和底部均开设有矩形开口,空心板(1)的底部开设有长方形开口。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻加工限位结构,其特征在于:所述铰接板(305)的数量有两组,两组铰接板(305)交叉且相铰接,顶板(2)的顶部与电动推杆(301)的外壁固定安装,电动推杆(301)的自由端与安装块(304)的一侧外壁固定连接,一组铰接板(305)的顶部和另一组铰接板(305)底部分别与顶板(2)的底部和空心板(1)的顶部铰接安装。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻加工限位结构,其特征在于:所述空心板(1)的顶部和顶板(2)上均开设有滑槽A(302),两组滑槽A(302)的内部均滑动安装有滑块A(303),一组滑块A(303)的顶部与安装块(304)的底部固定连接,安装块(304)与顶板(2)滑动安装,一组滑块A(303)的底部和另一组滑块A(303)的顶部分别与一组铰接板(305)的顶部和另一组铰接板(305)底部铰接安装,两组铰接板(305)分别与空心板(1)和顶板(2)滑动安装。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻加工限位结构,其特征在于:所述驱动组件(51)包括马达(511)和转动齿轮(512),马达(511)的后侧与空心板(1)的前侧固定安装,马达(511)的输出轴通过联轴器延伸至空心板(1)的内部并与转动齿轮(512)的前侧固定连接;
所述固定组件(52)包括滑块B(523)、L形连接板(524)和限位板B(525),转动齿轮(512)与齿板(521)相互啮合,齿板(521)的一侧与L形连接板(524)的一侧内壁固定连接,L形连接板(524)的一侧外壁与限位板B(525)的一侧外壁固定连接,限位板A(4)和限位板B(525)的相邻侧壁均开设有限位槽。
6.根据权利要求5所述的一种集成电路板蚀刻加工限位结构,其特征在于:所述齿板(521)的顶部开设有滑槽B(522),滑槽B(522)的内部滑动安装有滑块B(523),滑块B(523)的顶部与空心板(1)的内侧顶部固定连接,齿板(521)与空心板(1)滑动安装。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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