[实用新型]用于制造部件承载件的半成品和用于处理半成品的设备

权利要求书

1.一种用于制造部件承载件的半成品(100)，所述半成品(100)用于制造部件承载件(102)，其特征在于，所述半成品(100)包括：

叠置件(104)，所述叠置件(104)包括至少一个电传导层结构(106)和/或至少一个电绝缘层结构(108)；以及

第一对准标记(110)和第二对准标记(112)，所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)位于所述叠置件(104)的不同的竖向高度处；

其中，所述第一对准标记(110)具有开口(114)，在所述开口(114)中，所述第二对准标记(112)至少部分地位于所述叠置件(104)上的竖向观察方向(116)上。

2.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，在所述叠置件(104)上的所述竖向观察方向(116)上，所述第二对准标记(112)完全位于所述第一对准标记(110)内。

3.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，所述第一对准标记(110)为环形结构。

4.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，所述第一对准标记(110)具有圆形或多边形的轮廓。

5.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，所述第二对准标记(112)是环形、圆形或多边形的结构。

6.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)中的至少一者形成所述至少一个电传导层结构(106)的部分。

7.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，钻孔(162)延伸穿过所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)。

8.根据权利要求7所述的半成品(100)，其特征在于，所述钻孔(162)延伸穿过整个所述叠置件(104)。

9.根据权利要求1所述的半成品(100)，其特征在于，所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)中的至少一者是所述叠置件(104)的内层。

10.一种处理设备(120)，所述处理设备(120)用于对根据权利要求1所述的用于制造部件承载件(102)的半成品(100)进行处理，其特征在于，所述处理设备(120)包括：

成像装置(122)，所述成像装置(122)用于沿所述叠置件(104)上的所述竖向观察方向(116)捕获所述半成品(100)的内部的图形，使得所述图形包括所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)的投影；以及

确定单元(124)，所述确定单元(124)用于基于在所捕获的所述图形中对所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)进行的分别识别来确定对准信息。

11.根据权利要求10所述的处理设备(120)，其特征在于，所述对准信息包括关于所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)的相对位置信息。

12.根据权利要求10所述的处理设备(120)，其特征在于，所述处理设备(120)包括平衡单元(126)，所述平衡单元(126)用于基于所确定的所述对准信息对所述半成品(100)的相对于所述处理设备(120)的至少一部分的位置和/或取向进行平衡。

13.根据权利要求10所述的处理设备(120)，其特征在于，所述处理设备(120)包括钻孔装置(128)，所述钻孔装置(128)构造成用于基于所确定的所述对准信息而在所述半成品(100)中形成延伸穿过所述第一对准标记(110)和所述第二对准标记(112)两者的钻孔(162)。