[实用新型]一种硅片制备旋转式酸洗装置

权利要求书

1.一种硅片制备旋转式酸洗装置，并排设置有多个工位(38)，其特征在于，所述工位(38)包括盛装箱(1)、部件箱(2)和管道箱(3)，所述盛装箱(1)的下侧设置有部件箱(2)，所述盛装箱(1)和部件箱(2)通过分隔板(28)相互分隔，所述盛装箱(1)和部件箱(2)的一侧设置有管道箱(3)，所述盛装箱(1)的一侧箱壁上设置有支撑管(4)，所述支撑管(4)上固定连接有支撑套筒(5)，所述支撑套筒(5)螺纹连接有螺栓卡扣(6)，所述支撑管(4)穿设有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)固定连接有第一喷头(8)，所述第一喷头(8)与第一连接管(9)相连通，所述第一连接管(9)与第一导管(10)相连通，所述第一导管(10)设置在管道箱(3)的内部，所述第一导管(10)与进水管(12)通过第一阀门(11)相连通，所述第一导管(10)的正上方设置有第二导管(15)，所述第二导管(15)与进酸管(17)通过第二阀门(16)相连通，所述第二导管(15)与第二喷头(13)相连通，所述第二喷头(13)与延长管(14)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片制备旋转式酸洗装置，其特征在于，所述分隔板(28)的中部设置有支撑筒(20)，所述支撑筒(20)的外周侧面固定连接有若干卡接环(22)，若干所述卡接环(22)呈等间隔均匀分布，所述支撑筒(20)的外周滑动套设有支撑套管(23)，所述支撑套管(23)的上端与分隔板(28)固定连接，所述支撑套管(23)的内侧壁开设有若干卡接槽，若干个所述卡接环(22)与卡接槽一一对应且滑动连接，所述支撑筒(20)的上端贯穿分隔板(28)且与分隔板(28)转动连接，所述支撑筒(20)的上端固定套接有卡扣环(25)，所述支撑筒(20)的下端固定连接有从动齿轮(24)，所述支撑筒(20)的轴心处穿设有喷管(19)，所述喷管(19)的两端均套接有第一轴承(21)，且喷管(19)通过第一轴承(21)与支撑筒(20)转动连接，所述喷管(19)的上端伸出支撑筒(20)的上端端面，所述喷管(19)的下端通过第二连接管(18)与第一导管(10)的中部相连通，所述部件箱(2)的内部一侧设置有驱动电机(26)，所述驱动电机(26)的驱动轴端部固定连接有主动齿轮(27)，所述主动齿轮(27)与从动齿轮(24)相互啮合。

3.根据权利要求2所述的一种硅片制备旋转式酸洗装置，其特征在于，所述分隔板(28)的一侧设置有排液口(29)，所述排液口(29)与排液管(30)相连通，所述排液管(30)的下端延伸至部件箱(2)的箱外，所述支撑筒(20)的上端通过卡扣环(25)与支撑台(39)活动卡接。

4.根据权利要求3所述的一种硅片制备旋转式酸洗装置，其特征在于，所述支撑台(39)包括支撑座(31)，所述支撑座(31)的上侧面中部固定连接有第一圆台(32)，所述第一圆台(32)的上侧面边缘固定连接有若干第一立柱(33)，若干个所述第一立柱(33)呈环形阵列均匀分布，所述第一圆台(32)的上侧面中部固定连接有第二圆台(34)，所述第二圆台(34)的上侧面边缘固定连接有若干第二立柱(35)，若干个所述第二立柱(35)呈环形阵列均匀分布，所述第二圆台(34)的轴心处开设有出水槽(36)，所述出水槽(36)的槽底开设有连通槽(37)，所述连通槽(37)依次贯穿第二圆台(34)和第一圆台(32)，所述喷管(19)的上端与连通槽(37)相互连通。

5.根据权利要求4所述的一种硅片制备旋转式酸洗装置，其特征在于，所述支撑座(31)的内侧壁通过卡扣环(25)与支撑筒(20)的上端相互卡接，所述第二立柱(35)的上端端面比第一立柱(33)的上端端面低，所述第二立柱(35)的上侧安装有硅片，若干个所述第一立柱(33)围绕在硅片的外周且与硅片的外边缘相互卡接。