[实用新型]一种半导体配件的平磨加工工装

说明书

本实用新型公开了一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台，所述工作台的上表面固定安装有安装架，所述安装架的内部设置有升降机构，所述工作台的上端内部设置有打磨机构，所述升降机构的内部设置有固定机构，所述工作台的下端内部设置有去屑降温机构，通过设置升降机构、打磨机构和固定机构，使得此装置只需通过伺服电机工作，就能够带动打磨盘和工件放置板进行相反方向的转动，提高了工件的平磨效率，实用性高，通过设置的去屑降温机构，能够对平磨过程中产生的灰尘和碎屑进行清理，避免碎屑残留在工件上划伤工件，从而提高了成品率，降低了成本损失，同时能够对水资源进行循环利用，降低了加工成本。

技术领域

本实用新型属于半导体配件加工技术领域，具体涉及一种半导体配件的平磨加工工装。

背景技术

平面研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床，主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面，用于材料的单面研磨、抛光，平面研磨机广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。

现有的半导体配件在平磨加工时，需要多个动力源来使得打磨盘和工件安装板进行相反方向的旋转，此方式虽然工作效率较高，但使用成本也高，实用性较差，为此我们提出一种半导体配件的平磨加工工装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体配件的平磨加工工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台，所述工作台的上表面固定安装有安装架，所述安装架的内部设置有升降机构，所述工作台的上端内部设置有打磨机构，所述升降机构的内部设置有固定机构，所述工作台的下端内部设置有去屑降温机构。

优选的，所述升降机构包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆固定安装在安装架的上表面，所述电动伸缩杆的伸缩端贯穿安装架的上端并固定连接有升降板，所述升降板的下端内部活动连接有转杆，且转杆设置有三个，中间所述转杆的下端固定连接有工件放置板，右边所述转杆的下端固定连接有第一限位轮，所述第一限位轮通过环形齿条与工件放置板的右端啮合连接。

优选的，所述打磨机构包括伺服电机，所述伺服电机通过电机箱固定安装在工作台的内顶壁，所述伺服电机的动力输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的上方表面设置有第一主动轮，所述第一主动轮的右端通过环形齿条啮合连接有打磨盘，所述打磨盘下端通过转杆与工作台活动连接，所述打磨盘的右端通过环形齿条啮合连接有第二限位轮，且第二限位轮的下端通过转杆与工作台的上端内部活动连接，所述转轴的上端固定连接有第二主动轮，所述第二主动轮的右端啮合连接有从动轮，所述从动轮的上表面与升降板的左侧所述转杆固定连接，所述从动轮的右端通过环形齿条与工件放置板啮合连接。

优选的，所述工作台和升降板内部均固定安装有轴承，所述转轴和两个下端所述转杆均通过轴承与工作台的上端内部转动连接，三个上端所述转杆均通过轴承与升降板内部转动连接。

优选的，所述固定机构包括螺杆，所述螺杆前后对称设置有两个，两个所述螺杆分别螺纹连接在工件放置板的前后两端内部，两个所述螺杆的内端均固定连接有限位板，两个所述限位板之间夹持有加工件，且加工件的下表面与打磨盘的上表面紧密接触，两个所述螺杆的外端均贯穿工件放置板并延伸至外界，两个所述螺杆的外端均固定连接有旋钮。

优选的，所述去屑降温机构包括水箱和水泵，所述水箱和水泵均安装在工作台的内部，且水泵设置在水箱的前端，所述水箱的前端通过连通管与水泵相连接，所述水泵的上端固定连接有水管，所述水管的上端贯穿工作台的上端并固定连接有喷嘴，所述喷嘴的喷头朝向打磨盘与加工件的相接处。

优选的，所述工作台的上端开设有通槽，且通槽的下端固定安装有导流板，所述水箱设置在导流板的正下方，所述水箱的内部设置有过滤网。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：