[实用新型]一种宽量程热偶真空计有效

专利信息
申请号: 202122336041.6 申请日: 2021-09-26
公开(公告)号: CN215726533U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 林红;任元国;梁盈盈;李泞 申请(专利权)人: 成都国光电气股份有限公司
主分类号: G01L21/14 分类号: G01L21/14
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 610100 四川省成都市经*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 量程 真空计
【权利要求书】:

1.一种宽量程热偶真空计,其特征在于:其包括:

真空规管,包括交叉连接的一根康铜丝和一根镍铬丝,在不同真空度的测量环境下,能够根据恒定加热电流产生不同电动势的电信号;

加热电流供给单元,包括顺次连接的信号处理模块和加热电流提供模块;所述信号处理模块与真空规管输出端连接,用于将真空规管输出的电信号与基准电压信号进行减法运算处理,得到能够保证灯丝恒温的第一电信号;所述加热电流提供模块输出端与真空规管连接,用于根据第一电信号向真空规管提供能够保证灯丝恒温的第一加热电流;

模数转换单元,与信号处理模块输出端连接,用于将信号处理模块输出的模拟态的第一电信号转换为数字信号;

主控单元,经模数转换单元与信号处理模块连接,用于对数字信号进行处理进而计算出当前测量环境的真空度信息。

2.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述加热电流供给单元还包括信号放大模块,设于真空规管输出端与信号处理模块输入端之间。

3.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述信号处理模块为加法运算电路或减法运算电路;所述加热电流提供模块包括顺次连接的电压跟随电路与第一开关器件,或加热电流提供模块包括顺次连接的恒流电路与第一开关器件。

4.根据权利要求3所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括断耦检测单元,包括并联连接的压差感知元件和第一光电转换器,压差感知元件与真空规管输入端连接,光电转换器输出端与主控单元连接。

5.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括驱动控制单元,包括顺次连接的第二光电转换器和第二开关器件,光电转换器与主控单元输出端连接,第二开关器件与外部系统的中间驱动开关连接。

6.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括模拟量输出选择单元,包括顺次连接的数模转换模块和模拟量输出模块;

所述数模转换模块与主控单元输出端连接,用于将主控单元输出的能够表征当前测量环境的真空度信息的数字信号转换为模拟信号并传输至模拟量输出模块;所述模拟量输出模块用于将数模转换模块输出的模拟信号进行选择处理,输出用户所需的能够保证当前测量环境真空度的电压信号或电流信号。

7.根据权利要求6所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述模拟量输出模块包括运算放大电路、电流放大电路、电压跟随电路和信号选择电路,运算放大电路、电流放大电路顺次连接,电流放大电路输出端经一阻性元件分别连接至电压跟随电路一输入端和信号选择电路,电压跟随电路另一输入端、电压跟随电路输出端均连接至运算放大电路输入端,信号选择电路输出端连接至主控单元。

8.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括按键单元,与主控单元输入端连接。

9.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括通信单元,与主控单元双向连接。

10.根据权利要求1所述的一种宽量程热偶真空计,其特征在于:所述真空计还包括显示单元,与主控单元输出端连接。

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