[实用新型]一种微蚀废液回收再生利用装置

权利要求书

1.一种微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

包括微蚀槽（1）、第一收集槽（2）、冷凝管（3）、第二收集槽（4）、电解槽（5）、管道（6）、过滤槽（7）及回收槽（8）；

所述微蚀槽（1）的出口与所述第一收集槽（2）的进口连通，所述冷凝管（3）的进口端延伸至所述微蚀槽（1）内部的下端，所述冷凝管（3）的出口与所述第二收集槽（4）的进口连通，所述第二收集槽（4）的出口与所述电解槽（5）连通；

所述管道（6）的进口端延伸至所述微蚀槽（1）内部的上端，所述管道（6）的出口与所述过滤槽（7）的进口连通，所述过滤槽（7）的出口与所述回收槽（8）的第一进口连通；

所述电解槽（5）的出液口与所述回收槽（8）的第二进口连通。

2.如权利要求1所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

还包括废气处理塔（9）；

所述电解槽（5）的出气口与所述废气处理塔（9）的进气口连通。

3.如权利要求2所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

所述过滤槽（7）包括过滤槽体（71）、固定于所述过滤槽体（71）内壁上的过滤膜（72）及第一搅拌装置（73），所述第一搅拌装置（73）的搅拌部分位于所述过滤膜（72）的上方。

4.如权利要求1至3任一项所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

所述冷凝管（3）包括外管（31）、设于所述外管（31）内的冷凝内管（32）及冷凝液（33）；

所述冷凝液（33）填充于所述外管（31）内壁与所述冷凝内管（32）的外壁之间。

5.如权利要求4所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

所述冷凝内管（32）呈多段弧形弯曲设置。

6.如权利要求4所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

所述电解槽（5）包括电解槽体（51）、竖直固定于所述电解槽体（51）底部的隔板（52）、设于所述隔板（52）一侧的阳电极（53）及设于所述隔板（52）另一侧的阴电极（54）。

7.如权利要求4所述的微蚀废液回收再生利用装置，其特征在于：

所述回收槽（8）包括回收罐体（81）、用于加入调整试剂的加药管（82）、第二搅拌装置（83）及pH值检测笔（84）；

所述加药管（82）固定于所述回收罐体（81）上，所述第二搅拌装置（83）的搅拌部分位于回收罐体（81）内，所述pH值检测笔（84）部分延伸于所述回收罐体（81）内。