[实用新型]可集尘的导电板组件

说明书

本实用新型可集尘的导电板组件包括：导电板套筒、导电板活动杆和接地带连接件，所述导电板套筒的上端连接导电板，所述导电板活动杆贯穿设置在导电板套筒内，所述导电板套筒与导电板活动杆之间设置有弹簧，所述接地带连接件设置在导电板活动杆的顶端，所述导电板活动杆的底端还设置有套筒集尘配件，当弹簧被压缩时，腐蚀产生的粉尘落入套筒集尘配件中。本实用新型通过增设套筒集尘配件来形成粉尘收集空间，使得弹簧伸缩过程中，杆子底部漏出的粉尘得以收集起来，保护液晶屏的同时，维护腔体环境，便于清洁。

技术领域

本实用新型涉及一种导电板组件，特别是涉及一种可集尘的导电板组件。

背景技术

EPIC BAR是导电板，用于半导体面板的生产所需的腔体中，安装于腔体内的加热台上，在其侧边设置有EPIC组件，也称导电板组件，组件主要由导电板套筒、导电板活动杆和接地带连接件组成，在导电板套筒内还设置有弹簧。当加热台上移时，导电板组件跟随上移，其顶部的接地带连接件与导流板接触，加热台继续上移，弹簧被压缩。

由于导电板套筒在氟离子腐蚀的环境中工作，所以弹簧容易被腐蚀并掉落粉尘，当弹簧被压缩时，这些粉尘会从底部的空隙漏出，飘在工作腔体之中，经气流导入容易飘出落到液晶屏上导致液晶屏报废，且腔体内有粉尘难以清洗。

因而，需要对现有技术进行改进。

实用新型内容

本实用新型提供可集尘的导电板套筒，用以解决上述问题。

本实用新型采用的一个技术方案是：提供可集尘的导电板组件，包括：导电板套筒、导电板活动杆和接地带连接件，所述导电板套筒的上端连接导电板，所述导电板活动杆贯穿设置在导电板套筒内，所述导电板套筒与导电板活动杆之间设置有弹簧，所述接地带连接件设置在导电板活动杆的顶端，所述导电板活动杆的底端还设置有套筒集尘配件，当弹簧被压缩时，腐蚀产生的粉尘落入套筒集尘配件中。

进一步的，所述导电板套筒包括连接板和套筒两个部分，所述连接板上对称设置有连接孔，通过所述连接孔与导电板螺纹连接，所述套筒与连接板一体成型。

进一步的，所述导电板活动杆包括杆子和陶瓷管，所述杆子中段设置有限位台，所述弹簧套设在杆子的下段，所述陶瓷管套设在杆子的下段，用于分隔杆子与弹簧，避免杆子上的阳极膜被刮坏。

进一步的，所述杆子的底端从导电板套筒伸出且设置有配件连接孔，所述套筒集尘配件的底端设置有杆子连接孔，所述配件连接孔与杆子连接孔通过螺钉固定连接。

进一步的，所述套筒集尘配件适配导电板套筒和杆子的底端，当弹簧伸缩时，套筒集尘配件相对导电板套筒上下移动。

进一步的，在所述套筒集尘配件设置杆子连接孔处还设计有一平面，便于螺钉拧紧。

本实用新型可集尘的导电板组件的有益效果是：

1、通过在杆子的底端增设套筒集尘配件来形成粉尘收集空间，使得弹簧伸缩过程中，杆子底部漏出的粉尘得以收集起来，保护液晶屏的同时，维护腔体环境，便于清洁。

附图说明

图1是本实用新型第一实施例可集尘的导电板组件结构示意图；

图2是本实用新型第一实施例中导电板套筒结构示意图；

图3是本实用新型第一实施例中导电板套筒结构示意图；

图4是本实用新型第一实施例中导电板套筒结构示意图；

附图中各部件的标记如下：1、导电板套筒，2、导电板活动杆，3、弹簧，4、套筒集尘配件，5、接地带连接件，6、导电板，11、连接板，12、套筒，111、连接孔，21、杆子，22、陶瓷管，211、限位台，212、配件连接孔，41、杆子连接孔，42、平面。

具体实施方式