[实用新型]一种薄膜水汽透过率测试设备

权利要求书

1.一种薄膜水汽透过率测试设备，包括测试仪（4），其特征在于：所述测试仪（4）内部的腔体（7）中设有阻隔膜（5）和PEN基板（6），所述阻隔膜（5）设置于PEN基板（6）上端表面；

所述测试仪（4）内部的腔体（7）外设有测试机构，所述测试机构包括CCD捕捉镜头（1）和金刚石压头（2），所述CCD捕捉镜头（1）和金刚石压头（2）均安装在压头升降机构（3）上。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述CCD捕捉镜头（1）用于检测金刚石压头（2）对阻隔膜（5）下压时的图像，观察阻隔膜（5）表面是否到了极限破坏的程度，进而确定压头升降机构（3）下压压力的合适梯度，并获取在阻隔膜（5）在快要破坏时的下压压力。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述金刚石压头（2）在阻隔膜（5）表面分别采用不同的压力下压阻隔膜（5），阻隔膜（5）在不同压力的压缩下，分别显现出不同程度的压痕深度，CCD捕捉镜头（1）可采用高倍镜分别比对阻隔膜（5）的压痕深度，当压痕深度过大，阻隔膜（5）将会被破坏而压裂。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜水汽透过率测试设备，其特征在于：所述测试仪（4）一侧设有氮气进口（8）和氮气排出口（9），另一侧设有水蒸气入口（10）和水蒸气排出口（11），所述氮气排出口（9）处安装有水汽检测传感器。