[实用新型]一种振动辅助磁性剪切增稠抛光装置

权利要求书

1.一种振动辅助磁性剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述装置包括壳体（1-1）、主轴（1-2）、振动辅助模块（1-3）、夹具（1-4）、抛光主体装置（1-6）、旋转轴（1-7）和精密位移平台（1-8），所述振动辅助模块（1-3）夹持于主轴（1-2）上，所述待加工工件（1-5）通过夹具（1-4）固定在振动辅助模块（1-3）下端，所述旋转轴（1-7）安装于精密位移平台（1-8）上，所述抛光主体装置（1-6）包括抛光垫（2-1）、抛光盘（2-2）、磁场发生装置（2-3）、支架（2-4）、紧固螺钉（2-5）和抛光介质循环系统（2-6），所述抛光盘（2-2）固定于旋转轴（1-7）上，所述抛光介质循环系统（2-6）包括导管1（4-1）、导液口（4-2）、储液罐（4-3）、导管2（4-4）、喷嘴（4-5）、导管3（4-6）和压力泵（4-7），所述抛光垫（2-1）固定在抛光盘（2-2）内部下表面，所述喷嘴（4-5）通过导管3（4-6）与压力泵（4-7）连接并持续向抛光垫（2-1）表面喷射磁性剪切增稠抛光介质，所述导液口（4-2）安装在抛光盘（2-2）内部并通过导管1（4-1）与储液罐（4-3）连接，所述储液罐（4-3）通过导管2（4-4）与压力泵（4-7）连接实现剪切增稠抛光介质的循环，所述磁场发生装置（2-3）安装在支架（2-4）上并由紧固螺钉（2-5）进行固定且与抛光盘（2-2）单侧下端面保持2~3 mm的距离，所述支架（2-4）固定于精密位移平台（1-8）。

2.根据权利要求1所述的一种振动辅助磁性剪切增稠抛光装置，其特征在于：所述磁场发生装置（2-3）包括20个圆柱磁极（3-1）和磁极座（3-2），其中8个圆柱磁极（3-1）安装在抛光区域正下方，8个圆柱磁极（3-1）分别安装在抛光区域两侧下方，4个圆柱磁极（3-1）分别安装在抛光区域左右两侧，并且正下方圆柱磁极（3-1）与侧下方圆柱磁极（3-1）、侧下方圆柱磁极（3-1）与左右两侧圆柱磁极（3-1）均成120度夹角。