[实用新型]一种组合式伯努利吸盘有效
申请号: | 202122366015.8 | 申请日: | 2021-09-28 |
公开(公告)号: | CN216084840U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 华俊义;张琦;龚首琳 | 申请(专利权)人: | 昆山迈瑞凯精密工业有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 孔凡玲 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组合式 伯努利 吸盘 | ||
1.一种组合式伯努利吸盘,包括安装底板;其特征在于:所述安装底板连接有中心吸盘,且安装底板的边缘连接有配合中心吸盘吸取物料的辅助吸盘;所述辅助吸盘包括辅助吸盘本体和第二盖板;所述辅助吸盘本体上开设进气通道,且第二盖板的接头插入进气通道内;所述接头上开设导气孔,且导气孔的第一端连通进气通道,导气孔的第二端连通辅助吸盘外;所述进气通道的排气方式为面排气;所述第二盖板的板面与辅助吸盘本体的端面形成有环状的缝隙,且缝隙与所述接头的第二端连通;所述缝隙用于配合进气通道形成高速射流,带走辅助吸盘底部的空气形成负压区;所述安装底板背离中心吸盘的板面固定有缓冲组合垫,且缓冲组合垫对应辅助吸盘开设缺口,缺口用于排出所述缝隙中形成的高速射流。
2.根据权利要求1所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述辅助吸盘设置有多个,且环绕中心吸盘均匀间隔布置。
3.根据权利要求1或2所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述辅助吸盘的外形尺寸小于中心吸盘。
4.根据权利要求1所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述中心吸盘包括中心吸盘本体和第一盖板;所述中心吸盘本体与第一盖板之间形成有型腔;所述型腔的排气方式为点排气。
5.根据权利要求4所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述第一盖板上开设有连通型腔的多条凹槽;所述凹槽用于配合型腔形成高速射流,带走中心吸盘底部的空气形成负压区。
6.根据权利要求5所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述第一盖板上开设有多条排气槽,且每一排气槽对应一条所述凹槽。
7.根据权利要求4-6中任意一项所述的一种组合式伯努利吸盘,其特征在于:所述中心吸盘本体开设有进气口和负压检测口,且进气口连接进气接头,负压检测口连接负压检测接头。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造