[实用新型]一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置

说明书

一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构，波纹管一端套设于主腔体顶部开口内，另一端外露于主腔体，密封盖板用于密封波纹管另一端开口，靶托机构位于波纹管下方用于承托靶板，压管机构用于下压波纹管下端管压口使其与靶托机构紧密贴合；泄压触发机构包括分别设置于靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点，波纹管外露于主腔体一端设有泄压开关，泄压开关连通一泄压口，常开触点闭合触发泄压开关打开。相比现有技术，该装置可实现快速取放样品靶，结构简单、可靠和耐用，安装方便、密封性好。

技术领域

本实用新型涉及质谱检测技术领域，尤其涉及一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置。

背景技术

基质辅助激光解吸飞行时间质谱样品的离子化过程和样品的质谱检测过程都是在高真空的环境中进行的。将常温常压环境下的样品传递至真空系统和实现多通量样品的测试均需要一个可靠的传递机构和精确的定位移动机构来保证。在样品的传递过程中还要保证真空系统不能被破坏，所以样品靶的进出结构在该类仪器显得尤其重要。为实现基质辅助激光解析飞行时间质谱仪样品的传递和测试，目前已有很多类型的样品靶的进出结构，大部分都采用装有样品靶的靶槽经多级连杆机构传递来实现。该多连杆传递机构，结构复杂，因空间的原因连杆机构基本都采用铆接方式，装配困难，对人员要求高，且质量不一致，容易出现卡涩、铆接脱落等故障；造价昂贵；还有因装样品靶的靶槽在仪器的内部是处于没有固定连接的状态，在仪器的运输、搬运过程中可能发生靶槽脱落，从而造成故障。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术的不足，提供一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构，所述波纹管一端套设于所述主腔体顶部开口内，另一端外露于所述主腔体，所述密封盖板用于密封所述波纹管另一端开口，所述靶托机构位于所述波纹管下方用于承托靶板，所述压管机构用于下压所述波纹管下端管压口使其与所述靶托机构紧密贴合；所述泄压触发机构包括分别设置于所述靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点，所述波纹管外露于所述主腔体一端设有泄压开关，所述泄压开关连通一泄压口，所述常开触点闭合触发所述泄压开关打开。

进一步，所述波纹管下端管压口与所述主腔体内顶壁之间连接一弹性件。

进一步，所述压管机构包括固定轴、压杆、推杆，所述压杆和推杆传动连接并可绕所述固定轴转动，所述压杆一端抵接所述波纹管下端管压口，所述推杆一端位于所述靶托机构退到出舱位置的一侧。

进一步，所述压杆与推杆呈一预设夹角设置，所述预设夹角大于0°，小于180°。

进一步，所述预设夹角为100°-120°。

进一步，所述密封盖板与所述波纹管上端管口之间、所述波纹管上端管口与所述主腔体顶部开口之间、所述波纹管下端管压口与所述靶托机构之间均设有密封圈进行密封。

进一步，所述所述靶托机构退到出舱位置的一端设有触点机构，所述一对常开触点分别位于所述触点机构端面和主腔体内壁的对应位置上，所述靶托机构移动使触点机构推动推杆，同时压杆下压波纹管下端管压口，靶托机构继续移动到出舱位置，常开触点闭合触发泄压开关开启。

进一步，所述泄压开关为电磁阀感应开关。

进一步，所述波纹管材质为不锈钢，所述密封圈材质为全氟橡胶或耐高温氟橡胶。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，可实现快速取放样品靶，结构简单、可靠和耐用，安装方便、密封性好。