[实用新型]一种光阑以及激光器

说明书

本实用新型实施例公开了一种光阑以及激光器，通过在光阑基体上设置防尘镜来防止光学系统的灰尘沉积，同时防尘镜的多个侧平面倾斜设置，又大大降低了因防尘镜的设置而对光学系统性能产生的不利影响。本实用新型实施例中的光阑，其包含光阑基体和防尘镜，所述光阑基体的可用光出射端有光阑孔；所述防尘镜由多个侧平面构成，所述侧平面倾斜于主光轴的垂直面；所述防尘镜设有透光且不通的透光孔，用于透过从所述光阑孔射出的可用光；所述防尘镜被固定在所述光阑基体的可用光出射端的外端面上。

技术领域

本实用新型实施例提供了一种光阑以及激光器，其涉及光学领域，具体涉及光学领域中光学元件。

背景技术

在光学系统中常用光阑来对光束进行约束以获取较好的可用光束，但在光学系统的使用过程中常会有灰尘经光阑基体的光阑孔或端面孔落到透镜或光源等光学元件上；而落到透镜或光源等光学元件上的灰尘由于光学系统的结构等原因而较难被及时清理。

灰尘的本质是各种物质的微小颗粒物，光照射到灰尘上时会发生发射、漫反射、折射等现象。因而灰尘落到透镜或光源等光学元件上积累下来后会对光学系统的性能产生较大的影响；在精度要求高的光刻直写设备中这种影响就尤为突出，即使在激光焊接或者激光切割设备中光学系统中的灰尘积累也会大大的影响设备的使用性能。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种光阑以及激光器，通过在光阑基体上设置防尘镜来解决光学系统的灰尘沉积问题，同时防尘镜的侧面倾斜设置，解决了因防尘镜的设置而对光学系统性能产生的不利影响的问题。

本实用新型实施例第一方面提供了一种光阑，其包含光阑基体和防尘镜，所述光阑基体的可用光出射端有光阑孔；所述防尘镜由多个侧平面构成，所述侧平面倾斜于主光轴的垂直面；所述防尘镜设有透光且不通空气的透光孔，用于透过从所述光阑孔射出的可用光；

所述防尘镜被固定在所述光阑基体的可用光出射端的外端面上。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述光阑基体的可用光出射端的外端面设置有与所述防尘镜匹配的多个侧平面，使得所述防尘镜可以贴合固定在所述光阑基体的可用光出射端的外端面上。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述侧平面与所述主光轴的垂直面的夹角范围为1度至8度。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述侧平面为扇形平面或三角形平面。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述光阑基体的可用光出射端的内端面为倾斜于主光轴的垂直面的斜面。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述光阑基体的主体由导热材料制成；所述光阑基体的主体的内孔的表面设置一层吸光材料。

可选的，作为一种可能的实施方式，光阑基体的内孔表面为糙面。

本实用新型实施例第二方面提供了一种光阑，其包含光阑基体、防尘镜，防尘镜有透光且不通的透光孔，防尘镜在可用光传播方向上除所述透光孔的其它部位为不透光部位；

所述防尘镜由多个侧平面构成，所述侧平面倾斜于主光轴的垂直面；

所述防尘镜被固定在所述光阑基体的可用光出射端的端面上。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述侧平面与所述主光轴的垂直面的夹角范围为1度至8度。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述防尘镜凹陷于所述光阑基体的筒状结构的内部空间，或凸出于所述光阑基体的筒状结构的内部空间。

可选的，作为一种可能的实施方式，所述防尘镜内表面除光阑孔外的其它部位为糙面。