[实用新型]一种蚀刻设备用存储罐

权利要求书

1.一种蚀刻设备用存储罐，包括有存储罐主体（1），所述存储罐主体（1）包括有存储罐外壳，存储罐外壳内设置有存储腔，其特征在于：所述存储罐外壳的底部设置有支撑块（2），支撑块（2）连接有挡板（3），挡板（3）设置在存储罐外壳侧面，挡板（3）上设置有多块凸块（5），存储罐外壳上设置有多个凹槽，一个凹槽内插入有一块凸块（5），凸块（5）内设置有内腔（511），内腔（511）内设置有浮动块（6），存储罐外壳的表面设置有一层软膜（20）。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：存储罐外壳上设置有进料口（7）和出料口（8），进料口（7）和出料口（8）处的内壁均设置有内螺纹，还包括有第一密封塞（11）和第二密封塞（12），第一密封塞（11）和第二密封塞（12）的侧面均设置有和内螺纹相匹配的外螺纹，所述第一密封塞（11）塞入至进料口（7）内通过螺纹啮合，第二密封塞（12）塞入至出料口（8）内通过螺纹啮合。

3.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：存储罐外壳的底部安装固定有多个带有刹车的万向轮（13）。

4.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：挡板（3）和支撑块（2）为一体式的结构，挡板（3）和支撑块（2）均采用耐腐蚀的胶质材料制成，支撑块（2）内设置有密封腔，密封腔内储存有减震物质（15）；支撑块（2）靠近存储罐外壳的一侧设置储液槽（17）。

5.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：凸块（5）和挡板（3）为一体式的结构。

6.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：凸块（5）上设置有多个透气孔（16），透气孔（16）靠近软膜（20），软膜（20）的部分粘结固定在存储罐外壳上。

7.根据权利要求1所述的蚀刻设备用存储罐，其特征在于：浮动块（6）为软胶制成，浮动块（6）上形成有多片凸起片（26），浮动块（6）内设置储气腔，储气腔内储存有氦气。