[实用新型]噪声防护装置

说明书

本实用新型提供了一种噪声防护装置，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；所述防护板包括隔噪腔及吸声板，所述隔噪腔内填充有第一隔噪材料，所述吸声板设置于所述隔噪腔的外侧并面向所述容置腔；本实用新型提升了噪声防护装置的全频段隔噪性能。

技术领域

本实用新型涉及噪声技术领域，尤其涉及一种噪声防护装置。

背景技术

随着光刻机曝光线条精度向28nm及更小尺寸发展，各种噪声对光刻机的曝光系统和测量系统的振动产生了显著影响，进而降低了曝光精度。因此，需要对光刻机的曝光和测量等系统的声致振动进行控制。结构声致振动的计算公式为：

其中，a为声致振动，单位为m/s²；ρ₀为介质的密度，单位为kg/m³；c₀为声音在介质中的传播速度，单位为m/s；H²为激励力导致的结构振动加速度的传递函数，单位为W/N²；p为结构周围的声压，单位为Pa。

显然，降低声压是减小结构声致振动最直接且有效的手段。光刻机内部世界的声压主要来源于外部厂务噪声的传入和内部控制系统、运动部件等的工作噪声，且以外部厂务噪声的传入为主。因此，需要对外部噪声进行隔声处理，同时对内部噪声进行吸声处理。

在现有技术中会采用带微孔结构的三明治防护板组成噪声防护装置，防护板的两侧采用钢板或铝板，中间层的微孔结构中填充材料，对光刻机内部进行整体或者局部的噪声防护；这种带微孔结构的三明治防护板主要针对外部低频噪声(噪声频率60Hz)进行防护，中高频噪声衰减较少；且未涉及整机噪声防护的密封设计，存在噪声泄露。或是，采用由共振微结构组成的双层或多层防护板对光刻机内部世界的物镜等关键系统进行声学防护，达到局部降噪目的，这种防护板主要针对中高频噪声降噪，对于50Hz以下的噪声频率降噪效果差；且仅适合局部降噪，多处局部降噪结构设计和安装会导致光刻机内部空间利用困难。另外，一些局部的消声器和隔声板设计，仅能针对局部进行中高频的窄频段进行降噪，且降噪效果不够。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种噪声防护装置，提升噪声防护装置的全频段隔噪性能。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种噪声防护装置，其特征在于，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；

所述防护板包括隔噪腔及吸声板，所述隔噪腔内填充有第一隔噪材料，所述吸声板设置于所述隔噪腔的外侧并面向所述容置腔。

可选的，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、弹性薄膜及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，所述弹性薄膜固定于所述底板上且覆盖所有所述第一开口，所述弹性薄膜对应每个所述第一开口的区域上均设置有至少一个所述质量块。

可选的，所述共振结构层包括一个所述弹性薄膜，所述弹性薄膜覆盖整个所述底板；或者，所述共振结构层包括若干与所述第一开口一一对应的所述弹性薄膜，一个所述弹性薄膜覆盖对应的一个所述第一开口。

可选的，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、若干弹性连接件及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，一个所述第一开口对应至少一个所述弹性连接件，所述弹性连接件的一端连接对应的所述第一开口的顶部，所述弹性连接件的另一端连接所述质量块，以使所述质量块悬挂在所述第一开口内。

可选的，还包括锁紧件及密封件，所述锁紧件设置于所述防护框架和/或所述防护板上，用于将所述防护板固定所述固定区内，所述密封件设置于所述防护板上，以使所述防护板与所述固定区密封连接。