[实用新型]一种带有振动装置的加热平台

说明书

本实用新型公开了一种带有振动装置的加热平台，涉及靶材加工技术领域，包括外壳以及设置在外壳内的台面，所述外壳的内侧底部四角处均固定连接有导杆，所述台面的底板四角处均固定连接有套接在导杆外部的框架，所述外壳的内壁底部固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有转盘，所述转盘的外侧板上设有第一顶杆，所述第一顶杆远离转盘的一端内活动套接有铰接于台面底板中心处的第二顶杆，所述第一顶杆远离转盘的一端侧板上螺纹连接有贯穿其侧板伸入内部的第一蝶形螺栓。该带有振动装置的加热平台，通过在固定槽内部设置固定板结构，在使用装置的过程中，可以调节固定板与转盘圆心处的位置，以达到调节装置振动幅度的目的。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种带有振动装置的加热平台。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。现有制作平面靶材的平台，通过分块制作方式制备分块制作后，相邻靶材之间形成的间隙不易填平。

因此，提出一种带有振动装置的加热平台来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种带有振动装置的加热平台，以解决上述背景技术中提出的现有制作平面靶材的平台，通过分块制作方式制备分块制作后，相邻靶材之间形成的间隙不易填平的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种带有振动装置的加热平台，包括外壳以及设置在外壳内的台面，所述外壳的内侧底部四角处均固定连接有导杆，所述台面的底板四角处均固定连接有套接在导杆外部的框架，所述外壳的内壁底部固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有转盘，所述转盘的外侧板上设有第一顶杆，所述第一顶杆远离转盘的一端内活动套接有铰接于台面底板中心处的第二顶杆，所述第一顶杆远离转盘的一端侧板上螺纹连接有贯穿其侧板伸入内部的第一蝶形螺栓，所述转盘的一侧内部开设有固定槽。

优选的，所述转盘一侧开设有与固定槽连通的活动槽，所述活动槽内活动连接有固定板，所述固定板的一侧中心处固定连接有贯穿活动槽凸出转盘侧板的拉杆，所述拉杆内螺纹连接有第二蝶形螺栓，所述第二蝶形螺栓位于拉杆外部的一端转动连接有与拉杆滑动配合的固定环，第一顶杆转动连接在固定环上。

优选的，所述固定槽靠近活动槽的一侧设有第一齿部，所述固定板靠近拉杆的一侧固定连接有与第一齿部啮合的第二齿部。

优选的，所述活动槽的长度小于台面的厚度。

优选的，所述拉杆的横截面为矩形，所述固定环内部为与拉杆相适配的矩形。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种带有振动装置的加热平台，具备以下有益效果：

1、该带有振动装置的加热平台，通过转盘与第一顶杆和第二顶杆的配合设置，在使用装置的过程中，可以通过转动转盘带动顶杆使台面进行转动，保证靶材成型后的厚度和密度分布均匀。

2、该带有振动装置的加热平台，通过在固定槽内部设置固定板结构，在使用装置的过程中，可以调节固定板与转盘圆心处的位置，以达到调节装置振动幅度的目的。

附图说明

图1为本实用新型结构的轴测剖面示意图；

图2为本实用新型转盘结构的放大示意图；

图3为本实用新型固定槽结构的侧视剖面示意图。