[实用新型]一种钙钛矿器件蒸镀设备

权利要求书

1.一种钙钛矿器件蒸镀设备，包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体内设有用于对基片进行蒸镀的多个蒸镀机构和用于带动基片经过多个所述蒸镀机构的流转机构，其特征在于，所述流转机构为往复传送机构，所述往复传送机构传送基片往复经过多个所述蒸镀机构。

2.根据权利要求1所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述流转机构包括用于承载基片的基片架、用于安装所述基片架的移动平台、用于导向所述移动平台的第一导轨组件以及用于驱动所述移动平台移动的流转驱动装置。

3.根据权利要求2所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述流转驱动装置包括第一电机和丝杆螺母组件，所述第一电机设于所述蒸镀腔体的外部，所述第一电机通过磁流体传递扭矩至所述丝杆螺母组件。

4.根据权利要求2所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述移动平台包括承载台及第二导轨组件，所述承载台滑动设置于所述第二导轨组件上，所述第二导轨组件滑动设置于所述第一导轨组件上，所述第二导轨组件的导向方向与所述第一导轨组件的导向方向不平行。

5.根据权利要求1所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔体包括多个子腔体，不同所述蒸镀机构设置在不同的所述子腔体内，每个所述子腔体设有用于将其与其他子腔体隔离的第一隔离门阀。

6.根据权利要求1所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，多个所述蒸镀机构至少包括金属蒸镀机构及有机材料蒸镀机构。

7.根据权利要求6所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述金属蒸镀机构为点源蒸镀机构，所述有机材料蒸镀机构为线源蒸镀机构。

8.根据权利要求1所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，还包括存储腔体，所述存储腔体内设有用于存放多层基片的基片卡匣和将基片传送到所述流转机构上的上料机构，所述上料机构包括可沿基片传送方向伸缩并用于输送基片的伸缩输送装置和带动所述伸缩输送装置升降的升降驱动装置。

9.根据权利要求8所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述伸缩输送装置包括多层移动板，相邻两层移动板沿伸缩方向可移动连接，最底层和中间层的所述移动板上安装有输送皮带，最下侧的所述输送皮带设有带动其运转的第二电机，上下相邻的两个输送皮带的皮带摩擦接触，最顶层和中间层的所述移动板中，每一者连接其下层的移动板上的输送皮带。

10.根据权利要求8所述的钙钛矿器件蒸镀设备，其特征在于，所述存储腔体与所述蒸镀腔体之间设有将二者隔离的第二隔离门阀。