[实用新型]脱胶机喷淋结构

说明书

本实用新型公开脱胶机喷淋结构，涉及硅片清洗领域。该脱胶机喷淋结构，脱胶机主体和液压缸，所述脱胶机主体的内部设有插片花篮，所述脱胶机主体的内底部设有排水槽，所述脱胶机主体的内侧壁上转动连接有喷淋管，所述液压缸的两端均活动插接有液压杆，所述液压杆的端部活动铰接有传动杆。该脱胶机喷淋结构，通过喷头对插片花篮进行喷淋的过程中，通过启动液压缸，使得液压缸两端的液压杆同时进行不间断的伸缩移动，使得传动杆带动喷淋管在固定座内部进行转动，使得喷头的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮两侧进行往复喷淋，提升整体的喷淋清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为脱胶机喷淋结构。

背景技术

在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

在硅片插片进入到插片花篮之后，一般会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，但是一般喷淋管都是固定安装的，在冲洗时冲洗角度为固定的，这使得冲洗效部位较为单一，实际冲洗结果较差，因此需要提供一种脱胶机喷淋结构以解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型公开了脱胶机喷淋结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：脱胶机喷淋结构，包括：

脱胶机主体，所述脱胶机主体的内部设有插片花篮，所述脱胶机主体的内底部设有排水槽，所述脱胶机主体的内侧壁上转动连接有喷淋管；

液压缸，所述液压缸的两端均活动插接有液压杆，所述液压杆的端部活动铰接有传动杆。

优选的，所述脱胶机主体的外表面固定安装有固定座，所述喷淋管的端部转动连接在固定座的内部，所述传动杆与喷淋管固定安装，所述脱胶机主体的外表面固定安装有载板，所述液压缸固定安装在载板的外表面。

优选的，所述液压杆的端部固定安装有驱动杆，所述传动杆远离喷淋管的一端与驱动杆活动铰接。

优选的，所述脱胶机主体的内部固定安装有固定板，所述固定板的外表面固定安装有限位环，所述喷淋管远离固定座的一端转动连接在限位环的内部，所述喷淋管的外表面固定安装有喷头。

优选的，所述排水槽的内部安装有过滤网，所述排水槽的下表面固定安装有排水管。

优选的，所述脱胶机主体的内壁两侧均固定连接有挡杆，所述挡杆的上表面固定连接有支撑座，所述插片花篮的两端均固定连接有限位杆，所述限位杆活动卡接在支撑座的上表面。

本实用新型公开了脱胶机喷淋结构，其具备的有益效果如下：

1、该脱胶机喷淋结构，通过在喷淋管的端部安装有外接高压水源，使得水通过喷头对插片花篮进行喷淋，同时在这个过程中，通过启动液压缸，使得液压缸两端的液压杆同时进行不间断的伸缩移动，此时液压杆通过驱动杆带动传动杆的底端进行移动，使得传动杆带动喷淋管在固定座内部进行转动，在这个过程中喷淋管的另一端在限位环内部转动，使得喷头的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮两侧进行往复喷淋，提升整体的喷淋清洗效果。

2、该脱胶机喷淋结构，喷淋产生的废水进入到排水槽内部，然后通过排水管向外排出，同时插片花篮表面冲洗下来的杂质留在滤网的上表面，方便进行清理。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；