[实用新型]真空大气转换设备

说明书

本实用新型公开一种真空大气转换设备，包括壳体、真空泵、挡板组件和输送台，真空泵、挡板组件和输送台均设置在壳体内部，真空泵和挡板组件均固定在壳体的内壁上，挡板组件位于真空泵的抽气口正下方且与真空泵的抽气口间隔设置，输送台设置在挡板组件的下方。本实用新型真空大气转换设备在真空泵的抽气口正下方设有挡板组件，挡板组件与真空泵的抽气口间隔设置，不会影响真空泵的正常运行，真空泵长期运行后产生的异物从真空泵中掉落后，会被挡板组件接住，因而能避免异物对输送台上的玻璃基板造成污染，提高玻璃基板的良品率。

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种真空大气转换设备。

背景技术

在显示面板的制造过程中，有一道工序是对清洗后的玻璃基板进行真空烘干，玻璃基板需要从大气环境进入到真空环境，再从真空环境重新回到大气环境，这种切换过程需要借助真空大气转换设备来实现。真空大气转换设备中设有真空泵，能使设备内部的环境从大气环境变为真空环境，发挥出类似空间站气闸舱的作用。现有设计存在以下缺陷：由于真空大气转换设备的工作频率高，长时间使用后，真空泵内部易产生异物堆积，这些异物可能在重力的作用下从真空泵中掉落到玻璃基板上，造成玻璃基板被污染而产生质量问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空大气转换设备，能防止真空泵中的异物掉落到玻璃基板上，提高良品率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种真空大气转换设备，包括壳体、真空泵、挡板组件和输送台，所述真空泵、所述挡板组件和所述输送台均设置在所述壳体内部，所述真空泵和所述挡板组件均固定在所述壳体的内壁上，所述挡板组件位于所述真空泵的抽气口正下方且与所述真空泵的抽气口间隔设置，所述输送台设置在所述挡板组件的下方。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述挡板组件包括固定座和板本体，所述固定座固定在所述壳体的内壁上，所述板本体与所述固定座可拆卸连接。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述挡板组件还包括螺钉，所述固定座上设有螺纹孔，所述板本体上设有通孔，所述螺钉穿过所述通孔并旋拧至所述螺纹孔中。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述挡板组件还包括凸筋和固定销，所述凸筋设置在所述板本体上，所述固定座上开设有与所述凸筋的形状和大小相配合的滑槽，所述凸筋能插入所述滑槽中，所述板本体上开设有第一固定孔，所述固定座上开设有第二固定孔，所述固定销穿过所述第一固定孔并插入所述第二固定孔中。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述滑槽为燕尾槽，所述滑槽和所述凸筋的数量均为两个，所述固定座呈长杆状，所述第二固定孔开设在所述固定座长度方向的中部，所述滑槽沿所述固定座的宽度方向开设，两个所述滑槽关于所述第二固定孔对称设置。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述滑槽为燕尾槽，所述滑槽和所述凸筋的数量均为一个，所述固定座呈长杆状，所述滑槽沿所述固定座的长度方向开设。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述第一固定孔和所述第二固定孔均为锥孔，所述固定销为圆锥销。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述第二固定孔的开设方向与所述滑槽的槽底垂直。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述挡板组件还包括若干磁铁，所述磁铁设置在所述板本体背离所述输送台的一面。

作为本实用新型真空大气转换设备的一种优选方案，所述板本体背离所述输送台的一面设有凹槽，所述真空泵的抽气口在竖直方向上的投影完全落入所述凹槽中。

本实用新型的有益效果：