[实用新型]自动倒废光刻胶装置有效

专利信息
申请号: 202122410117.5 申请日: 2021-10-08
公开(公告)号: CN216512811U 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 王友林;孔令滨;沈伟辉;卢建周;张坤珏;廖健 申请(专利权)人: 福建中晶科技有限公司
主分类号: B67C3/30 分类号: B67C3/30;B65G65/23
代理公司: 合肥铭辉知识产权代理事务所(普通合伙) 34212 代理人: 张名列
地址: 364000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 自动 光刻 装置
【说明书】:

实用新型涉及光刻胶废液收集装置技术领域,尤其涉及一种自动倒废光刻胶装置。其技术方案包括:工作架与爬梯,工作架的顶部设置有两组进料口,工作架的顶部均匀设置有固定架,固定架中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗,且进料口远离固定架的一端设置有导料板,下料机构包括有翻斗架,翻斗架的左右两端均固定设置有连接杆,连接杆均与固定架转动连接。通过锥齿轮、连接杆、弹簧、抵接件、翻斗架、灌装漏斗和滚轮的配合,实现能够代替工作人员对废液塑料桶中的废液倒出,使得倒液过程中液体流畅排出,且通过两组翻斗架相反旋转的配合,有效的提高了废液灌装的作业效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶废液收集装置技术领域,尤其涉及一种自动倒废光刻胶装置。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X 射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。

光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。废光刻胶里面含有丙酮、乙丙醇、去边液等,生产车间经过光刻机用后的废液会装在20L的塑料桶,集中转移到危废仓库后,统一再倒入装危废液的吨桶里。

原对废液灌装入吨桶中,是通过工作人员爬到吨桶的顶部,再佩戴上防毒面具,将20L容量装有废液的塑料桶的一桶一桶提起向吨桶中顷倒。

在快速倒液体时,液体会迅速度堵住瓶口,造成瓶内气压低,外部空气挤压进去以达到内外气压平衡,这样一堵一挤,造成液体断断续续,因此在顷倒过程中,需要缓慢的变换角度,给瓶口流出进气通道,内外气压时刻处于平衡,才可使得液体流畅的倒出来,因此,较为耗时费力,经计算,收集一吨废液需要3个工时,效率很低;

由于这种废光刻胶挥发出来的气体存在有毒有害物质,工作人员吸入后会出现头晕的现象,因此安全危险系数较高,故需要对其作出改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题,提出一种便于顷倒的自动倒废光刻胶装置。

本实用新型的技术方案:自动倒废光刻胶装置,包括工作架与爬梯,所述工作架的顶部设置有两组进料口,所述工作架的顶部均匀设置有固定架,所述固定架中均设置有下料机构,进料口的底部设置有灌装漏斗,且进料口远离所述固定架的一端设置有导料板。

优选的,下料机构包括有翻斗架,所述翻斗架的左右两端均固定设置有连接杆,所述连接杆均与所述固定架转动连接。

优选的,所述工作架的顶部设置有安装架,所述安装架的顶部设置有电机,所述电机的输出端设置有转轴。

优选的,相邻两组所述连接杆的一端均设置有第一锥齿轮,所述转轴的外端设置有第二锥齿轮,所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合。

优选的,所述翻斗架的一端均设置有矩形件,所述矩形件均设有开口向下的夹腔,夹腔中均匀设置有弹簧,并嵌入有限位块,所述限位块的底部转动设置有滚动杆。

优选的,所述翻斗架设置有内腔,内腔的腔壁均匀开设有矩形槽,矩形槽中均匀转动设置有滚轮。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益的技术效果:

通过锥齿轮、连接杆、弹簧、抵接件、翻斗架、灌装漏斗和滚轮的配合,实现能够代替工作人员对废液塑料桶中的废液倒出,使得倒液过程中液体流畅排出,且通过两组翻斗架相反旋转的配合,有效的提高了废液灌装的作业效率。

附图说明

图1给出本实用新型一种实施例的左视结构示意图;

图2为图1的正视剖面结构示意图;

图3为图1中下料机构结构示意图;

图4为图1中翻斗架正视剖面结构示意图。

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