[实用新型]一种湿法清洗机用在线化学药液加热器结构有效

专利信息
申请号: 202122412053.2 申请日: 2021-10-08
公开(公告)号: CN216095222U 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 邵玉成 申请(专利权)人: 上海切普电子科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 李越
地址: 201306 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 清洗 在线 化学 药液 加热器 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种湿法清洗机用在线化学药液加热器结构,包括管体、第一端盖和第二端盖,所述管体的上端固定连接有第一限位安装环边;所述第一端盖上固定连接有第二限位安装环边;所述第一端盖上固定有用于进液的进液接头;所述管体的下端通过第一限位安装环边、第二限位安装环边及螺栓螺母连接有第二端盖;所述第二端盖上固定有用于排液的排液接头;所述第一限位安装环边通过第二固定螺柱连接有第二限位安装板。该新型的有益效果便于更换本加热器结构的零部件,安装拆卸方便,加热效果好。

技术领域

本实用新型涉及湿法清洗机领域,特别涉及一种湿法清洗机用在线化学药液加热器结构。

背景技术

清洗机等设备已逐步实现国产化,清洗环节重要性日益凸显,清洗设备成为主流随着集成电路制程工艺节点越来越先进,对实际制造的几个环节也提出了新要求。随着清洗技术的不断发展和进步,已经逐步形成了一个趋于完善同时不断走向专业和细化的行业,其中湿法清洗设备一直占据主导地位,但是目前的湿法清洗机用在线化学药液加热器结构依然存在不便于更换本加热器结构的零部件,安装拆卸不方便,加热效果差的问题。

因此需要设计一种便于更换本加热器结构的零部件,安装拆卸方便,加热效果好的湿法清洗机用在线化学药液加热器结构十分必要。

实用新型内容

本实用新型提供一种湿法清洗机用在线化学药液加热器结构,可以解决背景技术中所提到的问题。

本实用新型提供了一种湿法清洗机用在线化学药液加热器结构,包括管体、第一端盖和第二端盖,所述管体的上端固定连接有第一限位安装环边;所述第一端盖上固定连接有第二限位安装环边;所述第一端盖上固定有用于进液的进液接头;所述管体的下端通过第一限位安装环边、第二限位安装环边及螺栓螺母连接有第二端盖;所述第二端盖上固定有用于排液的排液接头;所述第一限位安装环边通过第二固定螺柱连接有第二限位安装板;所述第二限位安装板通过第一固定螺柱连接有第一限位安装板;所述第二限位安装板、橡胶密封垫片和第一限位安装板之间螺纹连接有曲形输送铜管;所述第一限位安装板与曲形输送铜管的连接处螺纹连接有限位安装接头。

较佳地,所述管体上固定有用于蒸汽进入管体的蒸汽进口;所述管体上固定有用于蒸汽排出管体的蒸汽出口。

较佳地,所述第一限位安装环边与第二限位安装环边之间设置有用于密封的第一橡胶密封垫圈;所述第一限位安装环边与第二限位安装板之间设置有用于密封的第二橡胶密封垫圈;所述第二限位安装板与第一限位安装板之间设置有用于密封的橡胶密封垫片;密封效果好。

较佳地,所述橡胶密封垫片和第二限位安装板上分别开设有用于安装曲形输送铜管的限位通孔。

较佳地,所述第一限位安装板、橡胶密封垫片和第二限位安装板上分别开设有用于安装第一固定螺柱的第二安装孔;安装拆卸方便。

较佳地,所述第一限位安装板、橡胶密封垫片和第二限位安装板上分别开设有用于安装第二固定螺柱的第一安装孔;安装拆卸方便。

较佳地,所述第一限位安装板设置有用于与限位安装接头螺纹连接的螺纹槽孔;所述曲形输送铜管上设置有用于与限位安装接头螺纹连接的第一外螺纹;所述限位安装接头上设置有用于与第一外螺纹螺纹连接的内螺纹;所述限位安装接头上设置有用于与螺纹槽孔螺纹连接的第二外螺纹;安装拆卸方便。

较佳地,所述第二限位安装环边通过螺栓螺母与第一限位安装环边连接;安装拆卸方便。

本实用新型提供的有益效果:

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