[实用新型]一种大宗气体供应的氧气纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座、吸附罐和处理罐，所述底座顶部设有固定板，所述固定板底部四角处均固定连接有支撑柱，多个所述支撑柱之间固定连接有支撑板，所述吸附罐内壁设有绝热层。本实用新型通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，交替排列的导流板能够延长原料气与吸附剂的接触时间，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，加热均匀，使反应更加充分，提高气体纯度，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，结构简单，实用性强，具有多重过滤效果，能够更好的纯化气体。

技术领域

本实用新型涉及氧气纯化技术领域，具体涉及一种大宗气体供应的氧气纯化装置。

背景技术

随着社会发展，经济越来越进步，工业逐渐从粗加工转化为精密制造，对高纯气体的需求也越来越大，高纯氧气在电子、对晶硅等行业的应用越来越广泛，高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源与产生高纯水的反应剂，干法氧化，与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀，氧气纯化需要用到氧气纯化装置。

现有的气体纯化装置不能一次去除大部分杂质，因此需要多个纯化器同时工作，并且需要在每个纯化器中装入不同的吸附剂，所需时间较长，且加热不均匀、隔热性不好，从而导致气体的纯化过程比较繁杂。

因此，发明一种大宗气体供应的氧气纯化装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种大宗气体供应的氧气纯化装置，通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座、吸附罐和处理罐，所述底座顶部设有固定板，所述固定板底部四角处均固定连接有支撑柱，多个所述支撑柱之间固定连接有支撑板；

所述吸附罐内壁设有绝热层，所述吸附罐内壁两侧均固定连接有筛板，所述筛板外壁一侧设有过滤板，两个所述筛板之间设有保温层，所述保温层外壁固定连接有导流板，所述导流板的数量设置为多个，所述保温层外壁设有吸附剂，所述导流板顶部设有活性炭吸附板，所述保温层内壁设有电热管；

所述处理罐内壁设有真空层，所述处理罐内壁两侧均固定连接有隔板，两个所述隔板之间设有引流管，所述引流管外壁设有干燥剂，一个所述隔板底部设有活性炭过滤网，所述活性炭过滤网底部设有第一过滤网。

优选的，所述支撑柱与底座固定连接，所述吸附罐与处理罐贯穿固定板和支撑板。

优选的，所述吸附罐内壁顶端设有进气管，所述处理罐内壁顶端设有排气管，所述吸附罐和处理罐顶端一侧均设有气压表。

优选的，所述吸附罐与处理罐底部固定连接有导气管，所述导气管内壁设有气动阀。

优选的，所述吸附剂位于导流板外壁，所述保温层底部设有温度传感器。

优选的，另一所述隔板顶部设有第二过滤网，所述第二过滤网顶部设有筛网。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，交替排列的导流板能够延长原料气与吸附剂的接触时间，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，防止烫伤操作人员，加热均匀，使反应更加充分，提高气体纯度，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，结构简单，实用性强，具有多重过滤效果，能够更好的纯化气体。

附图说明