[实用新型]一种HARP设备的真空气路结构

权利要求书

1.一种HARP设备的真空气路结构，其特征在于，所述HARP设备内的加热器表面形成有真空吸附气孔和泄压气孔，所述真空吸附气孔与真空管路连通，所述泄压气孔与旁路管路连通，所述真空管路提供真空以吸附晶圆，所述旁路管路提供气体以解除对晶圆的真空吸附及与对所述HARP设备的腔体进行泄压。

2.如权利要求1所述的真空气路结构，其特征在于，所述真空吸附气孔与所述泄压气孔相间设置。

3.如权利要求1所述的真空气路结构，其特征在于，所述真空管路设置有真空控制阀，对晶圆进行HARP工艺过程中，所述真空控制阀处于打开状态，所述HARP工艺结束后，所述真空控制阀处于关闭状态。

4.如权利要求1所述的真空气路结构，其特征在于，所述旁路管路设置有旁路控制阀，对晶圆进行HARP工艺过程中，所述旁路控制阀处于关闭状态，所述HARP工艺结束后，所述旁路控制阀处于打开状态。

5.如权利要求4所述的真空气路结构，其特征在于，所述旁路管路安装有滤芯以用于过滤气体。

6.如权利要求5所述的真空气路结构，其特征在于，所述滤芯安装于所述旁路控制阀与所述泄压气孔之间。

7.如权利要求1所述的真空气路结构，其特征在于，所述真空管路连通于厂务端真空系统。

8.如权利要求7所述的真空气路结构，其特征在于，所述厂务端真空系统产生的负压低于所述HARP设备的腔室的压力。

9.如权利要求1所述的真空气路结构，其特征在于，所述旁路管路连通于厂务端供气系统。

10.如权利要求9所述的真空气路结构，其特征在于，所述厂务端供气系统提供的气体的压力大于所述HARP设备的腔室的压力，所述厂务端供气系统提供的气体为干燥压缩空气或氮气或氩气。