[实用新型]晶舟夹取装置和机械手

权利要求书

1.一种晶舟夹取装置，包括丝杆步进电机、丝杆螺母、升降联动轴、两个传动板、两根摆动轴、以及至少一对夹持组件；

所述丝杆螺母安装于所述丝杆步进电机的丝杆上，所述丝杆螺母上设有升降板，所述升降板上设有与其水平面垂直的连接板，所述升降联动轴连接于所述连接板并与所述丝杆的侧壁相垂直，所述两根摆动轴与所述升降联动轴平行设置且均布于所述升降联动轴的两侧，所述两个传动板均套接于所述升降联动轴上，两个所述传动板远离所述升降联动轴的一端分别连接于不同的所述摆动轴；所述一对夹持组件分别连接于所述两根摆动轴上，其特征在于，所述夹持组件包括连接于所述摆动轴的夹持固定板和与所述夹持固定板可拆卸连接的环状夹持部。

2.如权利要求1所述的晶舟夹取装置，其特征在于，所述环状夹持部包括可拆卸连接于所述夹持固定板的夹持座和自由端可拆卸连接于所述夹持座的U形夹持爪。

3.如权利要求2所述的晶舟夹取装置，其特征在于，所述夹持座为M形。

4.如权利要求1所述的晶舟夹取装置，其特征在于，所述丝杆螺母与所述升降联动轴之间设有限制所述升降联动轴水平转动的导向轴。

5.一种机械手，其特征在于，包括如权利要求1至4中任意一项所述的晶舟夹取装置和驱动所述晶舟夹取装置升降运动的升降组件。

6.如权利要求5所述的机械手，其特征在于，所述升降组件包括升降支撑架，所述升降支撑架上设有升降驱动件，所述升降驱动件的输出轴连接有升降丝杆，所述升降丝杆上套接有带动所述晶舟夹取装置升降的升降丝杆螺母。

7.如权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述升降支撑架上还设有用于检测所述升降丝杆螺母运动位置的升降到位检测模组。

8.如权利要求6所述的机械手，其特征在于，还包括用于驱动所述升降支撑架水平横移的横移组件。

9.如权利要求8所述的机械手，其特征在于，所述横移组件包括与所述升降支撑架之间滑动连接的导轨和驱动所述升降支撑架在所述导轨上往复运动的横移驱动件。

10.如权利要求9所述的机械手，其特征在于，还包括用于检测所述升降支撑架横移位置的横移到位检测模组。