[实用新型]一种自动化靶材浸润装置

说明书

本实用新型提供了一种自动化靶材浸润装置，包括支撑主体、定位组件、钢刷打磨组件以及超声波振动组件，所述支撑主体与机器人的机械臂相连接，所述定位组件、所述钢刷打磨组件以及所述超声波振动组件分别设置在所述支撑主体的不同方向上；其中，所述钢刷打磨组件包括电机与所述电机带动下的钢刷本体，所述钢刷本体为圆形。本实用新型所述自动化靶材浸润装置可以在机械臂的带动下实现钢刷打磨以及超声波振动的自动化，不仅避免了人工操作，还可以达到靶材浸润处理的质量要求，并且在高效性、稳定性以及安全性上都有很大的优势；而且，进一步设定圆形钢刷本体以转动方式进行打磨，可以有效地提高熔化焊料的浸润效果。

技术领域

本实用新型属于靶材焊接技术领域，尤其涉及一种自动化靶材浸润装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。

由于金属溅射靶材往往采用高纯的钼、铝、铜、钛、镍、钽等比较贵重的金属材料，且金属溅射靶材的强度不一，在实际应用过程中，需要将符合性能要求的溅射靶材和具有一定强度的背板结合制成靶材组件，然后安装在溅射机台上，在磁场、电场作用下有效地进行溅射控制。背板可以为溅射靶材提供支撑作用，并具有传导热量的功效，因此需要将溅射靶材和背板进行加工并焊接成型。由于靶材组件在溅射过程中的工作环境比较恶劣，往往存在高温、高压力差、高压电场、高压磁场等，如果靶材组件中靶材与背板之间的焊接结合率较低，将导致靶材在受热条件下变形、开裂、甚至从背板脱落，不但无法达到溅射均匀的效果，同时还可能会导致溅射基台损坏。

现有技术一般采用钎焊将溅射靶材和背板进行焊接。钎焊是采用比母材熔化温度低的焊料，采取低于母材熔点而高于焊料熔点的操作温度，通过熔化的焊料将母材连接在一起的一种焊接技术。例如CN105436644A公开了一种靶材组件的焊接方法，包括：提供背板与靶材；在所述背板的焊接面上设置熔化的焊料；采用钢刷对所述背板的焊接面以及熔化的焊料进行浸润处理，采用超声波对所述背板的焊接面以及熔化的焊料进行处理；采用钢刷对靶材的焊接面进行处理；将所述靶材的焊接面与所述背板的焊接面相贴合，进而使所述靶材与背板相互焊接。所述钎焊焊接方法增加了熔化的焊料与背板焊接面之间的接触面积，并有利于焊料的原子能够更快的扩散到背板焊接面上，进而有利于熔化的焊料浸润背板焊接面的表面，靶材与背板的焊接质量更高。

然而，现有技术在进行浸润处理时，对于添加焊料、钢刷打磨以及超声波振动均由人工操作完成，熔化后的焊料温度一般在200℃以上，整个作业环境温度也都在40℃以上，在高温环境下操作，不仅作业效率低下，而且对作业人员的人身安全也是一个极大的安全隐患。

综上所述，目前亟需开发一种自动化靶材浸润装置，不仅避免了人工操作，还可以达到靶材浸润处理的质量要求，并且在高效性、稳定性以及安全性上都有很大的优势。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种自动化靶材浸润装置，所述自动化靶材浸润装置可以在机械臂的带动下实现钢刷打磨以及超声波振动的自动化，不仅避免了人工操作，还可以达到靶材浸润处理的质量要求，并且在高效性、稳定性以及安全性上都有很大的优势；而且，进一步设定钢刷本体为圆形，实现钢刷本体以转动方式进行打磨，可以有效地提高熔化焊料的浸润效果。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种自动化靶材浸润装置，包括支撑主体、定位组件、钢刷打磨组件以及超声波振动组件，所述支撑主体与机器人的机械臂相连接，所述定位组件、所述钢刷打磨组件以及所述超声波振动组件安装在所述支撑主体上的不同方向上；

其中，所述钢刷打磨组件包括电机与所述电机带动的钢刷本体，所述钢刷本体为圆形。