[实用新型]一种电子束蒸发镀膜治具有效

专利信息
申请号: 202122459958.5 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN215517610U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 张奇;欧胜军;詹胜超;陈吉庆 申请(专利权)人: 东莞汇驰真空制造有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/50;C23C14/04
代理公司: 北京高航知识产权代理有限公司 11530 代理人: 刘艳玲
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子束 蒸发 镀膜
【权利要求书】:

1.一种电子束蒸发镀膜治具,包括机体(1),机体(1)内设有伞状载件盘(3)和蒸发源(4),伞状载件盘(3)转动连接于机体(1)内的加工腔(2)顶壁,蒸发源(4)连接于加工腔(2)底壁,其特征是,机体(1)内还设有遮挡机构,遮挡机构包括支撑杆(5)、弧形杆(10)和挡板机构,两个以上弧形杆(10)固接于支撑杆(5)上,挡板机构固接于弧形杆(10)上,每个弧形杆(10)上设有一个挡板机构;

挡板机构包括两个以上挡板组,挡板组由两个结构相同的挡板(6)组成,挡板(6)上开设有两个连接孔(61),两个挡板(6)相互叠放,且两个挡板(6)通过螺丝(62)和弧形杆(10)连接;

挡板组沿着弧形杆(10)的长度方向进行排列,且挡板组的尺寸从弧形杆(10)中部往弧形杆(10)两端依次缩小。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜治具,其特征是,所有所述挡板机构的尺寸由所述加工腔(2)侧壁往所述伞状载件盘(3)伞心方向依次递减。

3.根据权利要求2所述的一种电子束蒸发镀膜治具,其特征是,所有所述挡板(6)均为铝板。

4.根据权利要求2所述的一种电子束蒸发镀膜治具,其特征是,所有所述挡板(6)均为不锈钢板。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种电子束蒸发镀膜治具,其特征是,所述伞状载件盘(3)底壁连接有两个以上待加工件,待加工件包括第一手机盖(7)、第二手机盖(8)和连接片(9),第一手机盖(7)和第二手机盖(8)分别连接于连接片(9)上,连接片(9)连接于所述伞状载件盘(3)底壁。

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