[实用新型]一种膜片制备布置机构有效
申请号: | 202122465238.X | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN215988797U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 陈世庚;路倩忠 | 申请(专利权)人: | 宁夏小牛自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01L31/18 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 孙玲 |
地址: | 750001 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 膜片 制备 布置 机构 | ||
1.一种膜片制备布置机构,其特征在于,包括:
放膜单元,所述放膜单元能够承载膜卷轴并将所述膜卷轴上的膜导出;
分距单元,所述分距单元包括安装基座、安装于所述安装基座上的敷膜模组和能够往复移动地设置于所述安装基座上的牵引组件,所述牵引组件与所述放膜单元相配合能够使从膜卷轴上导出的膜平整铺设于所述敷膜模组上,所述敷膜模组并排排列且数量多于2个;
任意一所述敷膜模组均通过位置调整机构设置于所述安装基座上,以使任意相邻两所述敷膜模组之间的间距可调;
切膜单元,所述切膜单元能够将从所述膜卷轴导出的膜切断为膜片,使得每个所述敷膜模组承载一片所述膜片;
运膜单元,所述运膜单元包括运膜手,所述运膜手能够每间隔一片所述膜片移走一片所述膜片。
2.根据权利要求1所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述分距单元还包括位于所述放膜单元与所述敷膜模组之间,且能够压紧所述膜卷轴与所述敷膜模组之间的膜的压膜组件。
3.根据权利要求1所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述位置调整机构包括:
用于连接所述敷膜模组和所述安装基座的滑移机构,并且所述敷膜模组相对于所述安装基座的滑动方向平行于多个所述敷膜模组的排列方向;
驱动所述敷膜模组沿所述滑移机构进行滑动的第一驱动机构。
4.根据权利要求3所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述第一驱动机构包括:
与所述敷膜模组固定相连的第一驱动电机,所述第一驱动电机的输出端设置有第一驱动齿轮;
固定设置于所述安装基座上的齿条,所述齿条与所述第一驱动齿轮啮合配合。
5.根据权利要求3或4所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述敷膜模组包括主体,所述主体的顶部能够承载所述膜片,所述主体用于与所述安装基座相配合的一端设置有第一滑槽,所述安装基座上设置有与所述第一滑槽适配的滑轨,所述第一滑槽与所述滑轨构成所述滑移机构,所述主体还具有吸盘。
6.根据权利要求5所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述主体上还具有插槽,所述插槽的侧立面开口位于所述主体远离所述安装基座的一侧,所述运膜手具有能够插入所述插槽中的插爪。
7.根据权利要求1-4、6任一项所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述牵引组件位于所述敷膜模组的上方,所述牵引组件包括牵膜手,所述牵膜手能够牵引所述膜卷轴导出的膜,所述牵膜手可滑动地与所述安装基座相连,所述牵膜手相对于所述安装基座的滑动方向平行于所述敷膜模组的排列方向,所述安装基座上还设置有驱动所述牵膜手往复移动的第二驱动机构。
8.根据权利要求7所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述第二驱动机构包括:
设置于所述安装基座顶部的第二驱动电机,所述第二驱动电机的输出端设置有第二驱动轮;
设置于所述安装基座顶部的从动轮;
套设于所述第二驱动轮与所述从动轮之间的驱动带,其中,所述驱动带与所述牵引组件固定相连。
9.根据权利要求1所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述切膜单元包括连轴和设置于所述连轴上的刀片,所述刀片的数量与所述敷膜模组的数量相一致,所述连轴的一端与第三驱动电机传动相连以实现转动,另一端既可转动又可滑动地安装于第二滑槽中,所述第二滑槽的方向垂直于所述牵引组件往复移动的方向,所述第三驱动电机安装于滑台上,所述滑台带动所述第三驱动电机沿平行于所述第二滑槽的方向往复移动,以通过所述刀片将膜切断为膜片。
10.根据权利要求1所述的膜片制备布置机构,其特征在于:所述运膜单元还包括安装基板,所述运膜手可滑动地设置于所述安装基板上,所述运膜手相对于所述安装基板的往复滑动方向平行于所述敷膜模组的排列方向,所述安装基板能够带动所述运膜手沿竖直方向往复运动;
所述安装基板上还设置有第四驱动电机,所述第四驱动电机的输出端与所述运膜手相连,以带动所述运膜手绕平行于所述敷膜模组所在平面的转轴转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的