[实用新型]取样充装一体化装置有效

专利信息
申请号: 202122469921.0 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN216785688U 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 李福中;陈卓;张旭;袁北京;韩秀娟 申请(专利权)人: 江苏鑫华半导体科技股份有限公司
主分类号: B67C3/22 分类号: B67C3/22;B67C3/02;G01N1/10
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 尚伟净
地址: 221004 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 取样 一体化 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种取样充装一体化装置,包括:充装容器;取样器;管道组件,管道组件包括:第一管道、第二管道和第三管道,第一管道、第二管道和第三管道的一端相连,第一管道的另一端用于连接产品罐,第二管道的另一端用于连接充装容器,第三管道的另一端用于连接取样器;阀门组件,阀门组件连接在管道组件上,以控制通断;操作器,操作器与阀门组件电连接,操作器具有至少一个检测件,检测件的检测端设在充装容器、取样器、管道组件的至少一个上。该装置可以完成取样过程和充装过程,两个过程切换时不需要物料接触空气,减少了污染可能性,也减少了物料污染取样设备、影响检测结果的可能性。

技术领域

本实用新型涉及化工设备技术领域,尤其涉及一种取样充装一体化装置。

背景技术

在工业原料生产中,一些物料的取料过程和充装过程通常分开进行。物料取样过程中会接触空气,导致污染物料和取样设备、影响检测结果,甚至可能危害人身安全等问题。且物料充装过程中,由于缺乏有效的取样检测数据,无法检测该批次的充装产品,会有品质不合格的风险。

例如电子级多晶硅是集成电路产业的基础原材料,业内主流的生产技术为基于三氯氢硅的改良西门子法,其核心为利用三氯氢硅和氢气为原料进行异相化学沉积的过程。三氯氢硅的纯度对多晶硅的品质至关重要,三氯氢硅通常采用物理、化学吸附和多级精馏的方法进行提纯,得到高纯的三氯氢硅产品。

但是三氯氢硅作为关键物料,通常其取料过程和充装过程分开进行,存在上述问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种取样充装一体化装置,该装置可以完成对物料的取料过程和充装过程,减少了物料污染及检测不准确等问题。

根据本实用新型实施例的取样充装一体化装置,包括充装容器;取样器;管道组件,所述管道组件包括:第一管道、第二管道和第三管道,所述第一管道、第二管道和第三管道的一端相连,所述第一管道的另一端用于连接产品罐,所述第二管道的另一端用于连接所述充装容器,所述第三管道的另一端用于连接所述取样器;阀门组件,所述阀门组件连接在所述管道组件上,以控制通断;操作器,所述操作器与所述阀门组件电连接,所述操作器具有至少一个检测件,所述检测件的检测端设在所述充装容器、所述取样器、所述管道组件的至少一个上。

根据本实用新型实施例的取样充装一体化装置,通过管道组件将充装容器和取样器连接在一起,且通过操作器控制阀门组件的开启和关闭,从而控制物料的流动方向,这样取样充装一体化装置可以完成取样过程和充装过程。这样取样充装一体化装置可以完成取样过程和充装过程,两个过程切换时不需要物料接触空气,减少了物料被污染的可能性,也减少了物料污染取样设备、影响检测结果的可能性。当物料对于人体属于有毒物料时,由于物料不用暴露于空气,减少了接触人体、危害人身安全的几率。由此,可以有效减缓甚至解决传统工艺中取样与充装过程存在的各类问题。

在一些实施例中,所述管道组件还包括:输送管,所述输送管的一端能够连接供气件,所述输送管的另一端与所述充装容器相连,所述输送管能够至少向所述充装容器输入清洁气体以进行清扫。由此可以进行正压吹扫达到清洁作用。

进一步的,所述输送管包括:输入管,所述输入管的一端用于连接所述供气件,所述输入管的另一端连接所述充装容器;输出管,所述输出管的一端连接所述充装容器。这样可以持续输气,加快清洁速度。

在一些实施例中,所述取样充装一体化装置还包括:惰性气体供应件,所述惰性气体供应件连接所述输送管;所述检测件还包括:气体检漏仪,所述气体检测仪用于检测所述充装容器是否漏气。由此,既能防止物料在充装过程中受到空气污染,保证充装物料的品质,又能减少物料外漏对人体产生伤害。

在一些实施例中,所述操作器还包括:真空发生器,所述真空发生器与所述充装容器相连。由此可以完成负压吹扫,实现清洁目的。

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