[实用新型]气体清洗机构

说明书

本实用新型涉及气体清洗技术领域，为了解决目前通过气体进行清洁的机构在使用时存在清洁效果不佳的问题，公开了气体清洗机构，包括固定座，固定座底部设置有密封罩，用于对金属粉屑排放进行密封；固定座远离密封罩的一侧设置有保护罩，所述固定座远离密封罩的一侧通过安装件活动安装有转动座，且转动座的位置与密封罩的开口位置相对应；所述转动座的侧面设置有夹紧机构。本实用新型通过夹紧机构将产品固定在转动座的侧面，并通过旋转机构带动转动座翻转度，使得固定有产品的一侧朝向密封罩，产品上的部分金属粉屑掉落至密封罩内，使用气管转接块连接气管对产品进行吹气处理，将产品上残余的金属粉屑吹落，清洁效果更佳。

技术领域

本实用新型涉及气体清洗技术领域，尤其涉及气体清洗机构。

背景技术

在半导体产品生产中，会产生少量金属粉屑残留在产品中，如果不进行清理直接进入下一道工艺生产，其金属粉屑会导致产品芯片电路短路，造成产品直接报废的风险，气体清洗工艺中是一个必不可少的工艺环节，它会直接影响到最终半导体产品性能以及质量，而现有的气体清洁机构在使用时存在清洁效果不佳的问题。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的气体清洗机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

气体清洗机构，包括固定座，固定座底部设置有密封罩，用于对金属粉屑排放进行密封；固定座远离密封罩的一侧设置有保护罩，所述固定座远离密封罩的一侧通过安装件活动安装有转动座，且转动座的位置与密封罩的开口位置相对应；

所述转动座的侧面设置有夹紧机构，用于对产品进行夹紧固定；

安装件的侧面设置有旋转机构，用于驱动转动座翻转；

还包括气管转接块，用于连接气管对翻转至转动座底部的产品进行吹气处理。

作为本实用新型再进一步的方案：所述夹紧机构包括设置在转动座侧面的夹紧部件，以及驱动夹紧部件移动对产品进行夹紧的夹紧驱动部件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述旋转机构包括通过旋转轴承安装在安装件侧面的旋转动力轴，旋转动力轴一端与转动座的一端连接，旋转动力轴远离安装件的一端设置有从动同步带轮；

还包括主动同步带轮，以及驱动主动同步带轮转动的旋转驱动部件，主动同步带轮通过同步带驱动从动同步带轮转动。

作为本实用新型再进一步的方案：还包括同步带张紧固定件，用于固定同步带的张紧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述转动座远离旋转动力轴的一端设置有从动轴，且从动轴通过从动轴固定轴承与安装件连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述密封罩远离固定座的一侧设置有壳体。

本实用新型的有益效果为：通过夹紧机构将产品固定在转动座的侧面，并通过旋转机构带动转动座翻转度，使得固定有产品的一侧朝向密封罩，产品上的部分金属粉屑掉落至密封罩内，使用气管转接块连接气管对产品进行吹气处理，将产品上残余的金属粉屑吹落，清洁效果更佳。

附图说明

图1为本实用新型提出的气体清洗机构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的气体清洗机构的旋转机构结构示意图；

图3为本实用新型提出的气体清洗机构的从动轴结构示意图。

图中：1-壳体、2-密封罩、3-安装件、4-夹紧驱动部件、5-夹紧部件、6-转动座、7-保护罩、8-旋转轴承、9-旋转动力轴、10-从动同步带轮、11-同步带、12-旋转驱动部件、13-固定座、14-气管转接块、15-从动轴固定轴承、16-从动轴、17-同步带张紧固定件、18-旋转机构。

具体实施方式