[实用新型]一种干式无油两级真空泵

说明书

本实用新型涉及一种干式无油两级真空泵，包括壳体、底座、齿轮箱、电机、一对螺杆转子和一对罗茨转子；壳体安装在底座上，壳体正面开设有吸气口，壳体背面开设有排气口，壳体内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，罗茨转子腔靠近且连通吸气口，螺杆转子腔靠近且连通排气口，一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中；齿轮箱安装在壳体顶端，电机通过齿轮箱驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。本干式无油两级真空泵的壳体内集成安装有一对螺杆转子和一对罗茨转子，具有体积小的优点，且同时极大提升了真空泵的抽速和极限真空度。

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体地讲，涉及一种干式无油两级真空泵。

背景技术

干式螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。

罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体实现抽气的真空泵，压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。

通常在电工、电子、 镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、军工、航天等行业，特别是要求无油蒸汽污染的半导体行业以及含有大量水蒸汽及少量粉尘的抽气场合为了提高抽气速度和极限真空度，螺杆真空泵会与罗茨真空泵串联组成机组使用，同时配有管路、阀门、机架等。此种机组内部需要多个连接器件且体积较大，安装繁琐，制造成本高，因此，有必要对其进行改进和优化。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理的、集成度高，体积小，使用安装简单的干式无油两级真空泵。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：一种干式无油两级真空泵，包括壳体、底座、齿轮箱和电机，其特征在于：还包括一对螺杆转子和一对罗茨转子；所述壳体安装在底座上，壳体正面开设有吸气口，壳体背面开设有排气口，壳体内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，所述罗茨转子腔靠近且连通吸气口，所述螺杆转子腔靠近且连通排气口，所述一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，所述一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中；所述齿轮箱安装在壳体顶端，所述电机通过齿轮箱驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。

优选的，所述一对螺杆转子包括相互啮合的主动螺杆转子和从动螺杆转子，所述一对罗茨转子包括相互啮合的主动罗茨转子和从动罗茨转子，所述主动螺杆转子、从动螺杆转子、主动罗茨转子和从动罗茨转子四者的转动轴线相平行。

优选的，在主动螺杆转子、从动螺杆转子、主动罗茨转子和从动罗茨转子四者的两端分别设置有油封组件和轴承，四者通过轴承安装在壳体中。

优选的，所述齿轮箱内布置有一号齿轮传动副和二号齿轮传动副，所述一号齿轮传动副和二号齿轮传动副均包括一对啮合传动的齿轮，其中一号齿轮传动副中的两个齿轮分别安装在一对螺杆转子的上端，二号齿轮传动副中的两个齿轮分别安装在一对罗茨转子的上端；所述电机通过联轴器与主动螺杆转子上端连接，并在主动螺杆转子上端安装有一号带轮，在主动罗茨转子的上端安装二号带轮，所述一号带轮和二号带轮通过同步带传动连接。

优选的，所述排气口处安装有消音器。

优选的，所述电机安装在齿轮箱上。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：

1、本干式无油两级真空泵的壳体内集成安装有一对螺杆转子和一对罗茨转子，具有体积小的优点，且同时极大提升了真空泵的抽速和极限真空度；

2、壳体、一对螺杆转子和一对罗茨转子采取立式安装结构，各支撑件受力更加合理，拆卸清洗方便；