[实用新型]一种配合石英晶体生产作业温控装置

权利要求书

1.一种配合石英晶体生产作业温控装置，包括温控装置、导气管、控温桌，温控装置通过导气管连接到控温桌，其特征是：所述温控装置内设置制冷机和空气过滤机，且制冷机内还设置有恒温桶，所述制冷机通过气体控制管阀连接到恒温桶，恒温桶连接设置空气过滤机，经由了制冷机制造的低温空气排入恒温桶，恒温桶内设置有蓄冷材料或蓄冷板，低温空气再经过蓄冷材料或蓄冷板时，一部分温度被蓄冷材料或蓄冷板吸收和存储，再被排入空气过滤机进行过滤，过滤完成后通过导气管传输至控温桌。

2.根据权利要求1所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述空气过滤机连接设置多个辅助管。

3.根据权利要求1所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述控温桌包括密封罩、桌体、控温桌恒温桶，桌体上罩盖密封罩，桌体下方设置控温桌恒温桶，控温桌恒温桶内设置若干蓄冷材料或蓄冷板；桌体设置若干通气道，通气道连接控温桌恒温桶，由此通过通气道，密封罩内的空间和控温桌恒温桶内的空间相连。

4.根据权利要求3所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述控温桌恒温桶设置防逆阀，防逆阀设置回流管连接到温控装置的辅助管上。

5.根据权利要求1所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述制冷机设置冷却水回收室。

6.根据权利要求1、3、4任一权利要求所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述恒温桶内的蓄冷材料为辛酸和软脂酸液。

7.根据权利要求1或3所述的一种配合石英晶体生产作业温控装置，其特征是：所述蓄冷板为凝胶HDPE蓄冷板。