[实用新型]一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构

权利要求书

1.一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：包括大摆臂主轴(1)、大摆臂(2)、小摆臂主轴(3)、小摆臂(4)以及腕部主轴(5)，所述大摆臂(2)一端与大摆臂主轴(1)连接固定，所述大摆臂(2)另一端安装有小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)下部安装于小摆臂(4)一端，所述大摆臂主轴(1)包括大摆臂主轴转轴(11)和大摆臂主轴同步带轮(12)，所述大摆臂(2)包括大摆臂本体(21)和大摆臂同步带(22)，所述小摆臂(4)包括小摆臂本体(41)和小摆臂同步带轮(42)，所述大摆臂主轴转轴(11)与电机的输出端相连接，并由电机驱动，所述大摆臂主轴同步带轮(12)与大摆臂主轴转轴(11)同轴布置，且大摆臂主轴同步带轮(12)安装于大摆臂本体(21)内，所述大摆臂主轴同步带轮(12)通过大摆臂同步带(22)连接小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)与小摆臂同步带轮(42)同轴布置，所述小摆臂同步带轮(42)装设于小摆臂本体(41)一端内，所述小摆臂本体(41)另一端安装有腕部主轴(5)，所述小摆臂同步带轮(42)通过同步带连接腕部主轴(5)，所述大摆臂主轴转轴(11)被驱动后大摆臂同步带(22)]以从动的方式驱动小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)通过小摆臂同步带轮(42)将大摆臂主轴转轴(11)的转动转递至腕部主轴(5)实现单轴驱动的三轴同步运动。

2.如权利要求1所述的定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：所述大摆臂(2)通过大摆臂定位销(23)将大摆臂本体(21)与大摆臂主轴同步带轮(12)进行连接定位。

3.如权利要求1所述的定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：所述大摆臂本体(21)与大摆臂主轴同步带轮(12)通过大摆臂侧啮合定位销(13)及安装支架进行连接，所述大摆臂主轴同步带轮(12)将大摆臂主轴(1)的初始角度传递到大摆臂本体(21)。

4.如权利要求1、2或3所述的定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：所述大摆臂本体(21)与小摆臂本体(41)通过小摆臂定位销(32)进行连接定位，所述小摆臂本体(41)与腕部主轴(5)轴线的连线的反向位置设置有高精度定位销孔，并通过小摆臂定位销(32)、高精度定位销孔将大摆臂本体(21)的初始角度传递到小摆臂本体(41)。

5.如权利要求1、2或3所述的定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：所述腕部主轴(5)处设置有腕部法兰定位销(51)，所述腕部主轴(5)通过腕部法兰定位销(51)与外部负载连接固定。